上海物光光電輪廓儀WGL特點(diǎn)：
   本儀器采用非接觸、光學(xué)相移干涉測量方法，測量時(shí)不損傷工件表面，能快速測得各種工件表面微觀形貌的立體圖形，并分析計(jì)算出測量結(jié)果。適用于測量各種量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度；標(biāo)尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測量等等。

由于儀器測量精度高，具有非接觸和三維測量的特點(diǎn)，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測量結(jié)果，本儀器適用于各級測試、計(jì)量研究單位工礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間，也適用于高等院校和科學(xué)研究單位等。

上海物光光電輪廓儀WGL主要技術(shù)參數(shù)

表面微觀不平深度測量范圍

在連續(xù)表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時(shí)：1000 一1nm

相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時(shí)：130 一1nm

測量的重復(fù)性：δRa ≤0.5nm

物鏡倍率:40X

數(shù)值孔徑:Φ 65      

工作距離:0.5mm

儀器視場  目視: Φ0.25mm