測量范圍

 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)； 
   方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)； 
   電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm； 
   電阻：0.0001～2000Ω.cm； 

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
   200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
   400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
   分辨力：10μV；
   輸入阻抗：>1000MΩ；
   精度：±0.1% ；
   顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
   針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
   機(jī)械游移率：≤0.3%；
   探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
   探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
  ( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量zui大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

測試標(biāo)準(zhǔn)

采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機(jī)通訊接口

 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
   相對濕度：≤65%；
   無高頻干擾；
   無強(qiáng)光直射；