VTC-5RFI薄膜研究 5靶頭等離子射頻磁控濺射儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
- 品牌 合肥科晶
- 型號 VTC-5RFI薄膜研究
- 產(chǎn)地 安徽省合肥市蜀山區(qū)科學(xué)院路10號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/22 16:29:35
- 訪問次數(shù) 3299
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式:朱沫浥18255163376 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
VTC-5RF是一款5靶頭的等離子射頻磁控濺射儀,針對于高通量MGI(材料基因組計劃)薄膜的研究。特別適合用于探索固態(tài)電解質(zhì)材料,通過5種元素,按16種不同配比組合。
技術(shù)參數(shù)
概念 |
|
電源 | 單相220 VAC, 50 / 60 Hz |
射頻電源 |
|
直流電源(可選) |
|
磁控濺射頭
|
|
濺射靶材 |
|
真空腔體
|
|
樣品臺 |
|
真空泵 |
|
石英振蕩測厚儀(可選) | 可選購精密石英振蕩測厚儀,安裝在真空腔體內(nèi),實時測量薄膜的厚度,精確度為0.1 Å(需水冷) |
凈重 | 60kg |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù) |
應(yīng)用注意事項 |
|