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真空腔體水氣解吸附組件2

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/2/27 11:51:50
  • 訪問次數(shù) 1329
產(chǎn)品標(biāo)簽

真空腔體水氣

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科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項(xiàng)技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應(yīng),72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,電氣

真空腔體水氣解吸附組件2

儀器簡介:

ZCUVE代表了水蒸氣解吸技術(shù)的新進(jìn)展。*的設(shè)計(jì)可從2.75“擴(kuò)展到8”法蘭尺寸,比例更高的紫外線功率因數(shù)和更大的法蘭尺寸。

ZCUVE的設(shè)計(jì)是為了解吸大型沉積室中的水,在這種情況下,真空室內(nèi)不可能有暴露的紫外線發(fā)射器。標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)成百葉窗可以用來防止ZCUVE在沉積過程中被涂層。

該工藝適用于o型環(huán)(Viton)密封真空室,沒有任何其他烘烤方式,也適用于較小尺寸的負(fù)載鎖。
技術(shù)參數(shù):

真空腔體水氣解吸附組件2

型號法蘭口徑
Z2752.75" / 40 CF
Z4504.5" / 63 CF
Z6006.0” / 100 CF
Z8008.0” / 160 CF

一個外部組件容納紫外線發(fā)射器,它位于高紫外線傳輸,超高真空窗口后面。發(fā)射器背面的鏡子進(jìn)一步改善了185納米紫外線通過窗戶進(jìn)入真空室的傳輸。ZCUVE外殼用惰性氣體回填,以防止外殼內(nèi)產(chǎn)生臭氧。最后,發(fā)射極引線通過MHV高壓連接器連接到控制裝置。

真空腔體水氣解吸附組件2

真空腔體水氣解吸附組件2

ZCUVE - Shutter Closed

ZCUVE - Shutter Open

利用UVC輻射解吸水蒸氣的優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生的熱量很少。更少的熱量意味著對機(jī)械零件和樣品的損壞更少。

另一個優(yōu)點(diǎn)是,UVC不需要一個直接的位置線來解吸水蒸氣。它不能進(jìn)入角落和縫隙,但它能反射出拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%至70%。

主要特點(diǎn):

UVB-100

真空腔體水氣解吸附組件2The UVB-100 uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter extends into the vacuum chamber.


ZCUVE

真空腔體水氣解吸附組件2The ZCUVE (Zero Clearance UV Emitter Water Vapor Desorption System) uses UVC radiation to desorb water vapor without heat. The emitter resides outside the vacuum chamber.

注:這些水蒸氣解吸產(chǎn)品設(shè)計(jì)用于高真空系統(tǒng)、大真空、腔室和負(fù)載鎖。它們不是為了取代超高真空系統(tǒng)中的輻射烘烤方法而設(shè)計(jì)的,而是與超高真空兼容的





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