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IBEX-300 晶圓超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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  • 我們是誰(shuí)

    美國(guó)Quantum Design公司是科學(xué)儀器制造商,其研發(fā)生產(chǎn)的系列磁學(xué)測(cè)量系統(tǒng)及綜合物性測(cè)量系統(tǒng)已成為業(yè)內(nèi)進(jìn)的測(cè)量平臺(tái),廣泛分布于全球材料、物理、化學(xué)、納米等研究域的科研實(shí)驗(yàn)室。Quantum量子科學(xué)儀器貿(mào)易(北京)有限公司(暨Quantum Design中國(guó)子公司) 成立于2004年,是美國(guó)Quantum Design公司設(shè)立的諸多子公司之,在全權(quán)負(fù)責(zé)美國(guó)Quantum Design公司本部產(chǎn)品在中國(guó)的銷售及售后技術(shù)支持的同時(shí),還致力于和范圍內(nèi)物理、化學(xué)、生物域的科學(xué)儀器制造商進(jìn)行密切合作,幫助中國(guó)市場(chǎng)引進(jìn)更多全球范圍內(nèi)的質(zhì)設(shè)備和技術(shù),助力中國(guó)科學(xué)家的項(xiàng)目研究和發(fā)展。

  • 我們的理念

    Quantum Design中國(guó)的長(zhǎng)期目標(biāo)是成為中國(guó)與進(jìn)行進(jìn)技術(shù)、進(jìn)儀器交流的重要橋頭堡。助力中國(guó)科技發(fā)展的十幾年中,Quantum Design中國(guó)時(shí)刻保持著積進(jìn)取、不忘初心、精益求精的態(tài)度,為中國(guó)科學(xué)家提供更質(zhì)的科學(xué)和技術(shù)支持。隨著中國(guó)科學(xué)在舞臺(tái)變得愈加舉足輕重,Quantum Design中國(guó)將繼續(xù)秉承“For Scientist, By Scientist”的理念,助力中國(guó)科技蓬勃發(fā)展,助力中國(guó)科技在騰飛!

  • 我們的團(tuán)隊(duì)

    Quantum Design中國(guó)擁有支具備強(qiáng)大技術(shù)背景、職業(yè)化工作作風(fēng)的團(tuán)隊(duì),并致力于培養(yǎng)并引進(jìn)更多博士業(yè)技術(shù)人才。目前公司業(yè)務(wù)團(tuán)隊(duì)高學(xué)歷業(yè)碩博人才已占比超過(guò)70%以上,高水平人才的不斷加入和日益密切的團(tuán)隊(duì)配合幫助QD中國(guó)實(shí)現(xiàn)連續(xù)幾年銷售業(yè)績(jī)的持續(xù)增長(zhǎng)

  • 我們的服務(wù)


  • Quantum Design中國(guó)擁有完善的本地化售前、售中和售后服務(wù)體系。國(guó)內(nèi)本地設(shè)有價(jià)值超過(guò)50萬(wàn)美元的備件庫(kù),用于加速售后服務(wù)響應(yīng)速度;同時(shí)設(shè)有超過(guò)300萬(wàn)美元的樣機(jī)實(shí)驗(yàn)室,支持客戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行進(jìn)步體驗(yàn)和深度了解。 “不僅提供超的產(chǎn)品,還提供超的售后服務(wù)”這將是Quantum Design中國(guó)區(qū)別于其他科研儀器供應(yīng)商的重要征,也正成為越來(lái)越多科學(xué)工作者選擇Quantum Design中國(guó)的重要原因。



PPMS,MPMS,低溫磁學(xué),表面成像,樣品制備,生命科學(xué)儀器

應(yīng)用領(lǐng)域 電子,航天,汽車,電氣,綜合

 

IBEX-300晶圓超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

 

    法國(guó)Hprobe公司于2017年3月在法國(guó)格勒諾布爾地區(qū)成立,旨在為集成電路域提供快速、準(zhǔn)確和靈活的測(cè)試設(shè)備,主要應(yīng)用方向?yàn)?strong>磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(MRAM)。MRAM技術(shù)作為芯片上系統(tǒng)嵌入式內(nèi)存(SoC)的替代技術(shù),越來(lái)越多的微電子行業(yè)的主要廠商對(duì)MRAM技術(shù)感興趣,相應(yīng)的測(cè)試設(shè)備需求也隨之增加,而Hprobe公司生產(chǎn)的IBEX-300晶圓超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)為個(gè)不錯(cuò)的選擇。

  
Hprobe IBEX 300-1C Hprobe IBEX 300-2C

    相比于其他的探針臺(tái), IBEX-300晶圓超快三維磁場(chǎng)探針臺(tái)是門(mén)用于晶圓片在磁場(chǎng)作用下的表征和測(cè)試的儀器,它使用*的三維磁場(chǎng)發(fā)生器和可定制硬件,為磁性器件(傳感器和存儲(chǔ)器)的開(kāi)發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來(lái)了完整的測(cè)試解決方案。

主要點(diǎn): 

■  可以用于100~300mm晶圓
■  提供大的面內(nèi)和垂直磁場(chǎng)
■  磁場(chǎng)定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
■  快速掃描能力
■  嵌入式傳感器校準(zhǔn)
■  自動(dòng)測(cè)試程序
■  MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
■  與標(biāo)準(zhǔn)探針卡兼容

主要應(yīng)用方向:

■  磁性隧道結(jié)

■  磁隨機(jī)存取存儲(chǔ)器

■  集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)

■  智能傳感器

技術(shù)原理:

   探針臺(tái)采用*的三維磁場(chǎng)發(fā)生器,每個(gè)磁場(chǎng)空間軸立驅(qū)動(dòng)。用這3個(gè)自由度,用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場(chǎng),也可以生成旋轉(zhuǎn)場(chǎng)。三維磁場(chǎng)裝置配備了所有相關(guān)配件,測(cè)試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。

    三維磁發(fā)生器置于探針臺(tái)頂部,并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場(chǎng)。為了適應(yīng)器件測(cè)試設(shè)計(jì),探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場(chǎng)發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離般可在500μm至5mm之間可調(diào),取決于所使用的探針卡和探針。

三維磁場(chǎng)裝置

相關(guān)參數(shù):

 面內(nèi) (XY)垂直 (Z)
大單軸磁場(chǎng)350 mT550 mT
磁場(chǎng)均勻性@ +/1mm± 1%± 1%
磁場(chǎng)分辨率0.05 mT0.02 mT
角度分辨率0,02°-
場(chǎng)掃描采樣率 < 50 kHz  < 50 kHz
R-H 回線測(cè)試時(shí)間 < 100 ms < 100 ms

 快速掃場(chǎng)能力

儀器配置:

    Hprobe探針臺(tái)配備整套儀器驅(qū)動(dòng)和測(cè)量大多數(shù)磁性器件,如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測(cè)量單元(SMU)、數(shù)字萬(wàn)用表(DMM)、任意波形發(fā)生器(AWG)、脈沖發(fā)生器(PG)、交換矩陣、數(shù)據(jù)采集板等。其他儀器可根據(jù)要求提供,并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。

任意波形發(fā)生器(AWG)
■  雙通道, 帶寬 40MHz
■  正弦波, 方波 & 脈沖 至30MHz
■  斜波 & 三角波 至 200kHz
■  任意波形 < 1M 采樣/通道
■  大采樣速率 250M 采樣/秒
脈沖發(fā)生器(PG)
■  脈沖寬度小至 200 ps 
■  上升/下降時(shí)間< 70 ps (20%-80%)
■  輸出電壓 10 mVpp 至 5 Vpp
■  大重復(fù)頻率 500 MHz 每通道l
■  幅值 大至 5V
  
源表和測(cè)量單元(SMU)
■  電壓小量程 20mV
■  電流小量程 1nA
■  > 3,000 讀數(shù) /秒
數(shù)字萬(wàn)用表(DMM)
■  18 位, 小量程 100mV
■  分辨率 10nV
■  小積分時(shí)間 10µ秒

 探針卡

    Hprobe探針臺(tái)使用非常靈活,用戶可以使用標(biāo)準(zhǔn)的商用探針卡,也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。

測(cè)試程序

    該測(cè)試程序包含了所有滿足用戶需求的功能,從器件表征到產(chǎn)品開(kāi)發(fā),以及轉(zhuǎn)移至生產(chǎn)等。它以三種模式運(yùn)行:

■ 標(biāo)定模式–設(shè)置磁場(chǎng)配置并創(chuàng)建用戶定義的圖形
■ 工程模式 –運(yùn)行預(yù)執(zhí)行的測(cè)試圖形或創(chuàng)建并運(yùn)行完整的自定義性和測(cè)試
■ 產(chǎn)品模式 –從工程模式中設(shè)置具有化測(cè)試時(shí)間的測(cè)試程序

預(yù)實(shí)現(xiàn)的測(cè)試模式包括(有或沒(méi)有磁場(chǎng)):

■ 開(kāi)路/短路 測(cè)試
■ AC/DC I-V, R-V 測(cè)試
■ AC/DC 擊穿電壓測(cè)試
■ 讀/寫(xiě)脈沖測(cè)試
■ R-H 角度/幅值 回線測(cè)試
■ 誤碼率測(cè)試
■ 器件循環(huán)和穩(wěn)定性測(cè)試
 

 



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