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FERA3 GM TESCAN 聚焦離子束-掃描電鏡

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 FERA3 GM
  • 產(chǎn)地 捷克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 11:58:12
  • 訪問次數(shù) 1085
產(chǎn)品標(biāo)簽

TESCAN聚焦離子束掃描電鏡FERA電鏡

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公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進(jìn)封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進(jìn)的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

 

半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

TESCAN  聚焦離子束-掃描電鏡是一款由計算機(jī)*控制的Xe等離子聚焦離子束(i-FIB)場發(fā)射掃描電子顯微鏡,可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS),可在高真空和低真空模式下工作,其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集,可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片,可以對圖像進(jìn)行管理、處理和測量,實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

TESCAN  聚焦離子束-掃描電鏡概述

軟件標(biāo)配:
測量
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準(zhǔn)
對象區(qū)域
自動關(guān)機(jī)時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM

選配:根據(jù)實際配置和需求

  • 技術(shù)規(guī)格

  • 配件二次電子探頭

  • 背散射電子探頭

  • In-Beam SE

  • In-Beam BSE

  • 探針電流測量

  • 壓差式防碰撞報警裝置

  • 可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭

  • TOP-SIMS

  • 二次離子探頭

  • 等,各種配件可供選擇

  • 圖片

  • 其他

分析潛力

  • 高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率、高電流和低噪聲的圖像

  • 選配的In-Beam二次電子探頭可獲取超高分辨率圖像

  • 三透鏡大視野觀察(Wide Field Optics™)設(shè)計提供了多種工作模式和顯示模式,體現(xiàn)了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計

  • 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化

  • 成像速度快

  • 低電壓下的電子束減速模式(Beam Deceleration Technology – BDT)可獲取高分辨率圖像 (選配)

  • In-Beam背散射電子探頭,用于在小工作距離下得BSE圖像(選配),甚至適合鐵磁性樣品

  • 全計算機(jī)化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計優(yōu)化了樣品操控

  • *的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀(EDX)、波譜儀(WDX)、背散射電子衍射儀(EBSD)

  • 由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和干式前置真空泵, 因而可以很快達(dá)到電鏡的工作真空,電子槍的真空由離子泵維持

  • 自動的電子光路設(shè)置和合軸

  • 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷軟件

  • 3維電子束技術(shù)提供實時立體圖像

  • 在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa 用于觀測不導(dǎo)電樣品

  • *的離子差異泵(2個離子泵)使得離子散射效應(yīng)超低

  • 聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

  • 聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒

  • 高束流下超高的銑削速度和的性能

  • FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)(斷層攝影術(shù)),3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化

  • 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件,圖像采集、存檔、處理和分析功能



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