使用MicroXact手動探針臺進行IV，CV和低電流測試，可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性，晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。

特征

手動平臺組裝可提供額外的預(yù)載滑塊，便于裝載和卸載晶圓或樣品。

手動控制壓板和卡盤Z位置，進行粗調(diào)和微調(diào)。

光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。

同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。

標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位

可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。

可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF卡盤和屏蔽罩。