基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒，LYRA3 FIB-SEM是一款SEM與FIB良好結(jié)合的一體化系統(tǒng)，能夠滿足高要求客戶的需要。

新一代場發(fā)射掃描電子顯微鏡（LYRA3）給用戶帶來了新的技術(shù)優(yōu)點，包括改進的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，都使LYRA3保持著很高的性價比。

LYRA3系列的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

• *的大視野光路設(shè)計提供各種工作與顯示模式
• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”
• 結(jié)合了完善的電子光學設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
• 全自動鏡筒設(shè)置與對中
• 成像速度很快
• 3維電子束技術(shù)提供實時立體圖像
• 可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術(shù)

高性能離子光路

• 高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)
• 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

• 裝有兩套差異泵的*離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低
• 馬達驅(qū)動高重復性光闌轉(zhuǎn)換器
• 電子束遮沒裝置與法拉第筒作為標配
• 同時可以進行離子刻蝕/沉積與SEM成像
• FIB的操作軟件集成在SEM軟件
• 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)
• 微/納米加工
• 離子束光刻

維修簡單

只需要很短的停機檢修時間，就能使得電鏡長期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個細節(jié)設(shè)計得非常仔細，使得儀器的效率zui大化，操作zui簡化。

自動程序

自動設(shè)置和許多其他的自動化操作是設(shè)備的特點之一。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言 （Python）可進入操作軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 多用戶和多語言操作界面
• 圖像管理與報告生成
• 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷
• 網(wǎng)絡(luò)操作與遠程進入/診斷
• 模塊化的軟件結(jié)構(gòu)
• 標準的軟件模塊包括：自動離子束控制、電子束寫入基本版、同時的FIB/SEM成像、預定義FIB工作模式等軟件工具
• 可選軟件包括了：顆粒度分析標準版/專家版、3維表面重建等模塊
• 電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強大工具
• 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時的全自動連續(xù)SEM圖像，三維重構(gòu)與三維可視化

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款*由計算機控制的聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)， 有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款*由計算機控制的聚焦離子束場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。