EVG610 BA 晶圓對準(zhǔn)設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌
- 型號 EVG610 BA
- 產(chǎn)地 奧地利
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 12:20:34
- 訪問次數(shù) 3657
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
晶圓缺陷檢測設(shè)備用于晶圓到晶圓對準(zhǔn)的手動鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng),適用于學(xué)校和工業(yè)研究。
一、簡介
EVG610鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)專為晶圓與晶圓對準(zhǔn)設(shè)計(jì),晶圓尺寸最大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺。EVG的鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準(zhǔn)要求。
二、特征
zui適用于EVG501和EVG510鍵合系統(tǒng)
晶圓和基板尺寸可達(dá)150/200 mm
手動高精度對準(zhǔn)
手動底側(cè)顯微鏡
基于Windows系統(tǒng)的用戶界面
*的多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶,各種訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)
桌面系統(tǒng)設(shè)計(jì),占地面積zui小
支持IR對準(zhǔn)過程
研發(fā)和試生產(chǎn)線的zui低的擁有成本(TCO)
三、技術(shù)參數(shù)
1.基本配置:
臺式
機(jī)架:可選
隔振模式:被動
2.對準(zhǔn)方式:
背部對住精度:±2μm 3 σ
透射對準(zhǔn)精度:±1μm 3 σ
紅外對準(zhǔn):可選
3.對準(zhǔn)臺:
高精度測微計(jì):手動
可選:機(jī)械測微計(jì)
楔形補(bǔ)償:自動