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產(chǎn)品簡介

KJ-SR  系列反射式膜厚測量儀可用于測量半導(dǎo)體鍍膜，手機觸摸屏 ITO 等鍍膜厚度，PET 柔性涂布的膠厚等厚度，LED 鍍膜厚度，建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測量膜厚的場合?？捎糜跍y量 2 納米到 3000 微米的膜厚，測量精度達(dá)到 0.1 納米。 在折射率未知的情況下， 還可用于同時對折射率和膜厚進(jìn)行測量。此外， 用于jing確測量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在 1 毫米以內(nèi)。

KJ-SR 進(jìn)行測量簡單可靠，實際測量采樣時間低于 1 秒。配合我們的 Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動測量，每次測量時間低于 5 秒。Apris SpectraSys 支持 50 層膜以內(nèi)的模型并可對多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的 材料數(shù)據(jù)庫，同時可對折射率進(jìn)行擬合。

同時，客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測量結(jié)果。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體鍍膜 , 光刻膠；藍(lán)寶石鍍膜，光刻膠；太陽能鍍膜剝離；卷對卷柔性涂布；車燈鍍膜厚度；陽極氧化厚度；玻璃減反膜測量；ITO玻璃；各種襯底上的膜厚；PET鍍層厚度等等

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

KJ-SR100

KJ-SR200

KJ-SR300

測試方式

可見光 VIS反射 (R)

紫外 + 可+UV+VIS反射 (R)

IR反射 (R)

波長范圍

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光源

鎢鹵素?zé)?/p>

鎢鹵素?zé)?+ 氘燈

鎢鹵素?zé)?/p>

入射角

0 度 ( 垂直入射 ) (0 DEGREE)

參考光樣品

硅片

光斑大小

About 1 mm（標(biāo)配，可以根據(jù)用戶要求配置）

樣品大小

10mm 到 300 mm ( 可以根據(jù)用戶要求配置 )

測量范圍

15nm-100um

2nm-200um

200nm-3000um

折射率（厚度要求）

100nm以上

50nm及以上

-

準(zhǔn)確性

2nm或0.5%

精度

0.1nm