FB2200聚焦離子束系統(tǒng)掃描電子顯微鏡新一代系統(tǒng)，效率更高、精度更高、質(zhì)量更高。
具有大面積離子銑能力，提供高速透射電子顯微鏡樣品制備。
60納安離子束電流，提高了做樣效率。
低加速原位電壓，樣品制備損壞率低。
FB2200聚焦離子束系統(tǒng)掃描電子顯微鏡采用日立超薄樣品制備技術(shù)（*），可制作出極微小精度的薄膜樣品。
與日立其它掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、掃描透射電子顯微鏡使用共用樣品桿（*），可快速簡單轉(zhuǎn)移樣品，便于進(jìn)一步成像和分析。
選購件
超薄樣品制備附件
該附件用于制備STEM、TEM等觀察用的超薄樣品，它是在FIB真空樣品倉內(nèi)通過離子束定點切割晶圓的目標(biāo)位置，并用操縱器將超薄樣品提出來的一種系統(tǒng)。使用該附件可以大大提高樣品制備的位置精度，同時樣品制備時間也縮短到半小時以內(nèi)。（該技術(shù)已經(jīng)在日本和美國申請了）。

三維分析樣品桿
使用該旋轉(zhuǎn)樣品桿可在STEM和FIB上觀察用FIB系統(tǒng)加工出來的微小柱狀樣品。，該三維旋轉(zhuǎn)樣品桿可有效適用于小型化電子設(shè)備三維結(jié)構(gòu)評估以及立體故障分析。