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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>EZ6-S 靈巧型臺(tái)式勻膠機(jī)/甩膠機(jī)/旋涂?jī)x/

EZ6-S 靈巧型臺(tái)式勻膠機(jī)/甩膠機(jī)/旋涂?jī)x/

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 LEBO/雷博
  • 型號(hào) EZ6-S
  • 產(chǎn)地 江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間 2024/10/16 16:34:05
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 5190

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       江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司2013年9月成立于江蘇江陰,是一家初期以高檔專(zhuān)業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器開(kāi)發(fā)為目標(biāo)的海歸創(chuàng)業(yè)企業(yè)。2020年8月,江蘇雷博科儀通過(guò)資源整合,將雷博科儀中發(fā)展起來(lái)的的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)務(wù)分拆出來(lái)成立了江蘇雷博微電子設(shè)備有限公司。兩家公司使用同一品牌 ,獨(dú)立經(jīng)營(yíng)不同系列產(chǎn)品。公司主營(yíng)高檔實(shí)驗(yàn)室儀器及半導(dǎo)體設(shè)備開(kāi)發(fā)業(yè)務(wù)。公司技術(shù)力量雄厚,人才濟(jì)濟(jì),憑借雄厚的技術(shù)實(shí)力不斷進(jìn)行新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和創(chuàng)新實(shí)現(xiàn),在納米薄膜制備類(lèi)儀器領(lǐng)域取得了顯著的市場(chǎng)地位。公司生產(chǎn)的高精度高可靠性勻膠機(jī)榮獲江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品,是國(guó)內(nèi)勻膠機(jī)全系列、多功能、定制化服務(wù)的供應(yīng)商。
       公司生產(chǎn)和銷(xiāo)售不同領(lǐng)域的高檔科研儀器和工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備:Schwan technology®是我們的納米薄膜制備類(lèi)設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、烤膠機(jī)、提拉機(jī)、噴膠機(jī)、涂膜機(jī)、狹縫涂布機(jī)等相關(guān)產(chǎn)品;LEBO science®是我們的工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備品牌,主要有勻膠機(jī)、顯影機(jī)、蝕刻機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)等獨(dú)立柜式機(jī)臺(tái)及工業(yè)全自動(dòng)機(jī)臺(tái)。
       公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于納米薄膜制備需求的鈣鈦礦薄膜太陽(yáng)能、有機(jī)光電、MEMS、聲表、光通訊、化合物半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝等領(lǐng)域,具有核心技術(shù)可靠、高性?xún)r(jià)比、定制化服務(wù)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。 

       公司目前團(tuán)隊(duì)人數(shù)80多人,業(yè)績(jī)和規(guī)模處于快速擴(kuò)展期,2013年起年銷(xiāo)售額一直保持快速增長(zhǎng),目前正準(zhǔn)備二輪融資擴(kuò)產(chǎn)。公司生產(chǎn)廠(chǎng)房設(shè)有裝配潔凈車(chē)間及黃光試驗(yàn)區(qū),其中生產(chǎn)區(qū)域約1500平方米,辦公及倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)域約1000平方米。

勻膠機(jī),烤膠機(jī),涂膜機(jī),狹縫涂布機(jī),紫外清洗機(jī),電解雙噴儀

  勻膠機(jī)主要用于晶片涂光刻膠,有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。
 
  送片盒中的晶片,自動(dòng)送到承片臺(tái)上,用真空吸附,在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速100—9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分),起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間,轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過(guò)編程控制。
 
  勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng),可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大,出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm,同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種,并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能,去掉晶片正反面多余的光刻膠。
 
  烘烤工位,有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱,微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進(jìn)行烘干。烘烤過(guò)程在密封的爐子中進(jìn)行,通過(guò)抽真空排除揮發(fā)出來(lái)的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后,將晶片送入收片盒內(nèi)。
 
  主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵,起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開(kāi)并使膠均勻的決定因素。
 
勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù):
 
  1.轉(zhuǎn)速可控范圍:100-12000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
 
  2.大單步步長(zhǎng)3000S,旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S
 
  3.加速度可控范圍:100-30000RPM/S
 
  4.最大推薦旋涂可底物尺寸:6寸圓形底物
 
  5.7寸全彩觸摸屏人機(jī)界面操作
 
  6.單步或多步運(yùn)行可選,可編組10組10步程序
 
  7.超高分子材料內(nèi)腔,不銹鋼外殼
 
  8.特殊設(shè)計(jì)的防進(jìn)膠、防堵膠功能
 
  9.可升級(jí)一路精確計(jì)量自動(dòng)點(diǎn)膠功能
 
  11.帶真空和蓋子開(kāi)關(guān)互鎖功能,確保操作安全
 
  12.標(biāo)配三種直徑規(guī)格真空載物盤(pán)(直徑10mm、25mm、2英寸)
 
  14.外形尺寸:295(W)*366(D)*270(H)
 
  EZ6-S勻膠機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作??梢源尜A10組程序,每組程序可達(dá)10步。所有運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、加速度、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間、點(diǎn)膠機(jī)選擇等都可在觸屏上方便設(shè)置。
 
  EZ6-S-EN嵌入式靈巧型EZ6勻膠機(jī):
 
  與EZ6技術(shù)參數(shù)*相同,分體嵌入式設(shè)計(jì):
 
  1.分體的EZ6勻膠機(jī),主機(jī)與控制盒分開(kāi),用電纜連接
 
  2.可嵌入手套箱或工作臺(tái)面下,降低操作高度
 
  3.觸屏安裝在手套箱內(nèi)或手套箱外可選
 


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