FPIMI-Micro 微探針臺系統(tǒng),micro probe
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPIMI-Micro
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/weitanzhen.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/2 16:35:00
- 訪問次數(shù) 1001
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微探針臺系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統(tǒng),實現(xiàn)微操作和微測量功能。
微探針臺系統(tǒng)能夠把現(xiàn)有光學顯微鏡升級成高精度和高穩(wěn)定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類的顯微鏡:
正置顯微鏡和倒置顯微鏡
探針臺
半導體檢測儀器
原子力顯微鏡
手套箱和各種環(huán)境箱
這款
微探針臺系統(tǒng)非常適合較小的半導體器件的測試,可配備4個微操縱器模塊,可用于電控放大倍數(shù)的顯微鏡和XY樣品臺。
這款
微探針臺系統(tǒng)可以根據(jù)應用要求進行晶圓測試配置,滿足亞微米尺度電學性能測試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤,提供制冷和加熱功能等集成方案。
微探針臺系統(tǒng)典型應用
電學微探針:測量半導體器件或晶圓的電學性能
材料測試:測試新材料的電學性能
微操縱:對微小器件進行微操作微操縱
微探針臺系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
顯微鏡部分
光學分辨率:約1.1um
放大倍數(shù):2.8X~35.5X(物鏡10X)
工作距離:33.5mm
照明光源:同軸照明LED,光強可調(diào)
相機:1920x1200像素,USB3.0接口
焦距可調(diào)
樣品臺規(guī)格:手動XY位移臺,行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm
樣品尺寸:25.4mm 直徑
電學探針規(guī)格:
接口:4個BNC接口
電壓范圍:+/-100V
電流范圍:1pA~100mA
電阻:約為3.5V
探針臺模塊規(guī)格
自由度:4個獨立的自由度X,Y,Z,Qz
最大速度:2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)
運動范圍: Stepping模式:20x20mm(XY), +/-180度(Qz), 42度(Z)
最大定位分辨率:Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)
探針規(guī)格:0.02'' (0.51mm) shank直徑,針尖半徑5nm~10um