NLD-570 刻蝕機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) NLD-570
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2021/8/20 16:29:47
- 訪問(wèn)次數(shù) 212
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源 |
|---|
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
研究開(kāi)發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛(ài)發(fā)科開(kāi)創(chuàng)的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產(chǎn)品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
• 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能
• 石英及玻璃作為厚膜resist mask時(shí)的也可實(shí)現(xiàn)深度刻蝕（100μ m以上）
• 可實(shí)現(xiàn)高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
• 可追加cassette室
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 光學(xué)器件（光衍射格子、変調(diào)器、光開(kāi)關(guān)等等）、凹凸型微透鏡
• 流體路徑作成或光子學(xué)結(jié)晶
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