TC4的彈性模量E=110GPa，約為鋼的1/2，故鈦合金加工時(shí)容易產(chǎn)生變形。 TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-**l-2.5Sn)鈦合金，采用兩種注入方案進(jìn)行表面改性，試驗(yàn)表明，鈦合金經(jīng)離子注入后，提高了顯微硬度，顯著地降低了滑動摩擦系數(shù)，有效地提高了**性.為探明其改性機(jī)理，對注入與未注入樣品進(jìn)行了X射線光電子能譜(XPS)分析，獲得滿意的結(jié)果. ●試件制備及注入條件1.1 試件制備　　選航空用的TC4、TA7鈦合金，試件制成圓盤狀，尺寸為40*5mm，所有試件表面均拋光至鏡面. 　　　　　　　　1.2 離子注入條件 　　兩種鈦合金都分別采用兩種注入方案： 　　　　　　　?、?nbsp;在TC4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti，Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中，同時(shí)用(N+ +N+2)進(jìn)行動態(tài)反沖注入，束流能量為50keV，束流密度為45μA/cm2，劑量為7*1017/cm2，靶室真空度為1.33*10-2Pa； 　　　　　　　?、?nbsp;在①的基礎(chǔ)上，再注入C+，束流能量為40keV，劑量為3*1017/cm2. ● 硬度測量　　用HXD-1000數(shù)字式顯微硬度計(jì)測量了注入與未注入試件的顯微硬度，測量載荷為4.9×10-2N，測量結(jié)果列于表1. 　　表1 顯微硬度測量結(jié)果 　　材料 表面狀態(tài) 顯微硬度/MPa 硬度提高倍數(shù) 　　　　　　　　　　未注入 2690 0 　　TC4 注入(N+ +N+2) 6399 1.38 　　注入(N+ +N+2)+C+ 3436 0.28 　　未注入 3133 0 　　TA7 注入(N+ +N+2) 4276 0.36 　　注入(N+ +N+2)+C+ 4073 0.30 　　從表1看出，離子注入后，試件的顯微硬度都有不同程度的提高，其中TC4鈦合金注入(N+ +N+2)混合束后硬度約提高1.4倍.