Alpha-Step D-600 D系列探針式臺(tái)階儀
- 公司名稱 北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Alpha-Step D-600
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/9/27 16:51:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 373
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 20萬(wàn)-30萬(wàn) |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,航天,汽車(chē),電氣 |
KLA的D系列探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600,可測(cè)量納米至1200um臺(tái)階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃的分辨率。
二、 功能
設(shè)備特點(diǎn)
臺(tái)階高度:幾納米至1200μm
低觸力:0.03至15mg
視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
緊湊尺寸:小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀
軟件:用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用域
大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS:二次離子質(zhì)譜
LED:發(fā)光二管
太陽(yáng)能
MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)
汽車(chē)
醫(yī)療設(shè)備
三、應(yīng)用
臺(tái)階高度
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低觸力功能,可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。
紋理:粗糙度和波紋度
D系列探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。
外形:翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。