美國蝕刻和剝離系統(tǒng) CESx124
- 公司名稱 深圳市科時達電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2022/5/10 12:17:44
- 訪問次數(shù) 409
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本公司主要從事半導體進口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售，是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品；電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售，半導體儀器設(shè)備銷售；國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口；醫(yī)療器械研發(fā)及銷售；醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等
這款蝕刻和清潔系統(tǒng)專為滿足當今晶圓、光掩模和基板的前沿應(yīng)用的特殊工藝需求而設(shè)計。這款高效的蝕刻和清潔系統(tǒng)CESx124、126、128或133是理想選擇，可滿足不同大小尺寸的晶片、光掩模和襯底，不論是從小直徑還是非常大直徑。CESx可以配置多種工藝分配選項，Megasonic噴嘴對DI H20或化學藥品的處理分配選項；用于化學制劑的低壓噴嘴；化學加熱器和DI-H20；用于表面攪拌以加快反應(yīng)的刷子，和/或DI H20等。
特點：
? 專為重要控制和安全而設(shè)計的系統(tǒng)。
? 多達9x9英寸/ 300mm直徑的基板兼容性。
? 主軸組件具有直流無刷伺服電機，可實現(xiàn)精確的速度控制和分度。
? 特氟龍涂層不銹鋼臂可調(diào)節(jié)臂速度和行進位置。
? 徑向排氣腔，用于層流，蓋子頂部有N2進料。
? DI-H20加熱器，用于清潔和干燥輔助。
? 過程中包含化學相容性材料PVDF或可選的PTFE。
? 獨立式聚丙烯柜。
? 微處理器控制功能可以在存儲器中保留三十（30）步的配方，每個配方有三十（30）步。配方和步驟的數(shù)量均可根據(jù)要求擴展。
? 內(nèi)置安全聯(lián)鎖和雙重控制。
? 用聯(lián)鎖裝置沖洗整個工藝區(qū)域和基材的pH值，以禁止進入工藝區(qū)域并控制排放和主軸轉(zhuǎn)速直到安全。
? 按鈕蓋打開/關(guān)閉。
? 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定，并帶有屏幕錯誤報告。
? 用于化學和房屋排水的排水分流閥。
? 設(shè)計符合SEMI S2 / S8準則。
技術(shù)參數(shù)：
? 產(chǎn)品：蝕刻和剝離系統(tǒng)
? 型號：CESx124
? 可用機械臂：4
? 基板尺寸：13英寸直徑
? 主軸速度：2500
? 配方：高達30
? 分配管路：12
主營產(chǎn)品：
Laurell勻膠機
Harrick等離子清洗機
Thetametrisis膜厚儀
Microxact探針臺
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應(yīng)離子刻蝕機
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機
Novascan紫外臭氧清洗機
Nilt納米壓印機
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)
Wabash/Carver自動壓片機
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