KT-Z1604TZ 高溫真空探針臺
參考價 | ¥ 108000 |
訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號 KT-Z1604TZ
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/3/29 15:42:40
- 訪問次數(shù) 1437
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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ
真空探針臺可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量,真空腔一體成型,具有設(shè)計合理,真空度穩(wěn)定,溫控精度及機械精度高等特點;根據(jù)測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件,溫度可達(dá)到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-196℃,;真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng),真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應(yīng)用:
可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導(dǎo)體/微電子,電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數(shù)
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
加熱臺尺寸 |
φ60mm |
觀察窗熱臺間距 |
75mm |
加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 |
≤0.1MPa |
真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 |
4探針 |
探針材質(zhì) |
鎢針 |
探針尖 |
10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
X軸控制精度 |
≤0.01mm |
Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 |
物鏡 |
物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
工作間距 |
90mm |
相機 |
sony 高清 |
像素 |
1920※1080像素 |
圖像接口 |
VGA |
LED可調(diào)光源 |
有 |
顯示屏 |
8寸 |
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |