OptoScan 600 光學粗糙度測試儀
- 公司名稱 岱美儀器技術服務(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 OptoScan 600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 14:36:56
- 訪問次數(shù) 2114
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,電子,綜合 |
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面板 | 600x600 |
X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板
OptoScan 600 光學粗糙度測試儀應用:
整體晶圓快速精確檢查
缺陷
粗糙度
波紋度
翹曲
直線電機 X/Y
700 x 700 (mm)
(Witte) 真空吸盤
帶旋轉攝像頭傳感器
扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度
Ra values 0.15 µm / Disco Machine.
測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時)
其他推薦:德國OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術粗糙度測量系統(tǒng)
先進半導體封測應用工藝如扇出型晶圓級封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ,于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測量系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的 WLI (白光干涉)或 AFM (原子力顯微鏡 )小面積測量技術已經(jīng)用于超導的高質(zhì)量拋光金屬表面的表面測量中得到充分證明,可在 30 秒內(nèi)精準測量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個200 毫米晶圓區(qū)域的粗糙度以及微米范圍內(nèi)的翹曲和納米范圍內(nèi)的波紋度。