化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設(shè)備>信號測試系統(tǒng)/半導(dǎo)體測試機(jī)>FS-Pro01 FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)
FS-Pro01 FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)
參考價 | ¥100000-¥400000/條 |
- 公司名稱 湖南格雷柏電子科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號FS-Pro01
- 所在地長沙市
- 廠商性質(zhì)代理商
- 更新時間2024/8/21 11:20:10
- 訪問次數(shù) 641
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ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng) ,HBM/MM/Latch-up測試機(jī), ESD/CDM/Latch-UP抗靜電能力測試系統(tǒng), ES612A 靜電測試儀(HBM、HMM、MM), ESD靜電和閂鎖測試系統(tǒng), CDM充電器件模型測試儀, CDM測試機(jī), 半導(dǎo)體器件靜電測試儀, 晶圓級ESD測試儀,EMI近場測試掃描儀系統(tǒng)
(一)產(chǎn)品介紹
FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備,在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的的研發(fā)和評估進(jìn)程。并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成,其快速 DC 測試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測試效率。
FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu),系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng),還支持多通道并行測試,可進(jìn)一步提升測試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的測試功能,可實現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗。
FS-Pro 可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED 材料、二維材料器件、金屬材料、新型*材料與器件測試等。
基于在產(chǎn)線測試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn),F(xiàn)S-Pro 不僅被眾多芯片設(shè)計公司和代工廠、IDM 公司釆用,其全面的測試能力更在科研學(xué)術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認(rèn)可,目前已被數(shù)十所國內(nèi)外高校及科學(xué)研究機(jī)構(gòu)所選用。
(二)產(chǎn)品優(yōu)勢:
一體化設(shè)備
- 單機(jī)可采集高精度 IV、CV、脈沖 IV 和瞬態(tài) IV 采樣及 1/f 噪聲測試所有參數(shù)
- 無需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數(shù)提取功能
寬電壓電流輸出范圍、高精度
- 支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成模塊化架構(gòu)
- 支持靈活、可擴(kuò)展的測試配置
簡單易用
- 內(nèi)置專業(yè) LabExpress 軟件 , 用戶界面友好
- 測量、分析功能強(qiáng)大
- 無需復(fù)雜編程步驟即可同步產(chǎn)生電壓并跟蹤波形
可用作 9812DX 內(nèi)部 SMU 模塊
- 無縫集成 9812D/DX 系統(tǒng)及其 NoiseProPlus 軟件,可提高噪聲測試速度
(三)產(chǎn)品應(yīng)用:
新型材料與器件測試
半導(dǎo)體器件可靠性測試
半導(dǎo)體器件超短脈沖測試
半導(dǎo)體器件無損探傷與測試
光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測試
半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測試
(四)硬件規(guī)格
寬量程:200V 電壓,1A 直流電流
高精度:30fA 精度,0.1fA 靈敏度
噪聲測試帶寬:高精度最高 100kHz,超低頻最高 40Hz
噪聲測試速度:<10s/bias(大于 0.5Hz 頻率分辨率)
內(nèi)置脈沖測試:200V 電壓,3A 脈沖電流,最小 50us 脈寬
內(nèi)置 CV 測試:200V/10kHz,可測至 20fF
外置 CV 測試模塊:40V/2MHz(高精度型)
40V/10MHz(高帶寬型)
高速時域信號采集:最小采樣時間 < 1us,10 萬點數(shù)據(jù)
噪聲測試最小阻抗:500Ω
噪聲測試分辨能力:可做 2e-28A2/Hz
噪聲測試頻率分辨率:高精度 0.1Hz,超低頻 0.001Hz
高精度快速波形發(fā)生與測量套件:
2 通道,SMA 接口
快速 IV 測試:±10V 電壓,最大 10mA 電流
SMU 直通:±25V 電壓輸入,最大 100mA 電流
100MSa/s 采樣率,最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns
(五)軟件功能
FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測量軟件具有強(qiáng)大的測試和分 析功能,該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè) 定,具有下列主要功能:
完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測試、任意波形發(fā)生與測量功能
支持長程 Stress 測試,和 HCI,BTI,TDDB,GOI(V-Ramp,J-Ramp)可靠性測試
內(nèi)置的常見器件測試預(yù)設(shè)可大大提高測試設(shè)置效率,幫助 新手操作者快速完成測試
強(qiáng)大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號
內(nèi)置強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多種數(shù)據(jù)保存方式,導(dǎo)出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直接導(dǎo)入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進(jìn)行模型提取 和特性分析
LabExpress 專業(yè)版支持對主流探針臺和矩陣幵關(guān)設(shè) 備的控制,支持晶圓映射、并行測試實現(xiàn)自動測試功能,進(jìn)—步提升測試效率
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