PT3000 臺式等離子清洗機(jī)
參考價 | ¥ 120000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PT3000
- 產(chǎn)地 中國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/5/17 14:18:18
- 訪問次數(shù) 3189
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勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
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真空度 | ≤100Pa | 電源功率 | 0-300W可調(diào) |
氣體路數(shù) | 2路 | 射頻頻率 | 13.56MHz |
臺式等離子清洗機(jī)是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備,利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面,達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧,真空腔容量大,適用于實(shí)驗室環(huán)境;清洗過程不會產(chǎn)生高溫,避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形;可以處理各種各樣的材質(zhì),如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料,應(yīng)用廣泛。
臺式等離子清洗機(jī)特點(diǎn):
u 采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控
u 低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料
u 無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗
u 可處理形狀復(fù)雜的材料,材料表面處理的均勻性好
u 適用性廣,各種材料、形狀都可以處理
設(shè)備的優(yōu)點(diǎn):
1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜的材料,材料表面處理的均勻性好。
5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。
腔體材質(zhì) 鋁合金
電源功率 0-300W可調(diào)
射頻頻率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
氣體路數(shù) 2路
氣體流量 MFC氣體質(zhì)量流量計 500SCCM(可調(diào))
控制 觸屏
清洗時間 1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸:≤4寸
內(nèi)腔尺寸 Φ147mm*145mm(直徑*深)
外形尺寸 500mm*525mm*365mm(寬*深*高)
重量 ≈38KG
真空泵 愛特VRD-4