納米壓痕儀測(cè)試所有材料的硬度

薄膜材料，如電鍍、硬膜等

樹脂材料，薄膜材料

極薄膜，如DLC

功能樹脂膜和表面改性層

微粒和粉末材料

納米張力試驗(yàn)

獲得薄膜、極表面、微小區(qū)域的硬度

彈性模量等機(jī)械性能

分析載荷和位移曲線以求特性，

無(wú)需壓力痕跡觀察

符合ISO 14577-1/JIS Z 2255 標(biāo)準(zhǔn)

納米壓痕儀性能：

1. 溫度管理機(jī)制

● 抑制樣品、試驗(yàn)機(jī)的熱膨脹

● 風(fēng)擋內(nèi)部進(jìn)行 士0.1℃的溫度管理

● 測(cè)量部件使用低熱膨脹材料（諾維奈特）

● 減少外部氣流的影響

2. 高精度定位平臺(tái)

● 采用本公司開發(fā)的用于電子束繪圖設(shè)備的

高精度舞臺(tái)技術(shù)

● 0.1 μm 最小移動(dòng)距離

● 觀察倍率 以2,000 倍測(cè)定任意位置

（20 倍標(biāo)準(zhǔn)物鏡，配合使用數(shù)字變焦）

3. 除振機(jī)構(gòu)

● 抗振動(dòng)高精度楔形移動(dòng)平臺(tái)

● 標(biāo)配主動(dòng)式減震器

4.軟件

● 壓頭校正、溫度漂移校正、

日常檢查提醒等輔助功能

● 久經(jīng)考驗(yàn)的易用性

5.數(shù)據(jù)可重復(fù)性

抑制振動(dòng)和溫度變化等干擾影響的機(jī)構(gòu)，

提高了數(shù)據(jù)再現(xiàn)性

● 連續(xù)測(cè)量也能獲得穩(wěn)定的數(shù)據(jù)

6.維護(hù)性

● 高負(fù)荷單元、低負(fù)荷單元易于更換

● 通過(guò)更換設(shè)備校準(zhǔn)減少了設(shè)備停機(jī)時(shí)間