Keithley 6514 6517B 6430高電阻低電流靜電測試儀介紹：

  Keithley 6517B靜電計/高阻表是全球科研實驗室靈敏測量的標準。吉時利在弱電測量方面擁有60多年的專業(yè)經驗，吉時利靜電計能夠可靠地測量較低10aA (10×10-18A) 電流、較低1fC 電荷，并支持最高1018Ω的電阻測量。6517B還能夠測量高達200V的最大電壓范圍，輸入阻抗超過200TΩ。所有這些性能都融合在一臺儀器中，操作起來像數字萬用表一樣簡便。

主要特點：

測量高達1018Ω的電阻

10aA (10×10-18A) 電流測量分辨率

6517B、8009電阻率測試夾具和KickStart高電阻率應用相結合，為ASTM D257高電阻率測量提供完整的硬件和軟件解決方案

<3fA輸入偏置電流

6位半高準確度測量模式

較低電流范圍上<20μV壓降

高達200V電壓測量，>200Ω輸入阻抗

內置±1000V電壓源

高阻測量交換電極電壓源和測量方法

內置測試序列，支持四種不同器件表征測試、表面和體電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描

選配插入式掃描卡，可使用一個測試設置測試最多10個器件或材料樣本

GPIB和RS-232接口

杰出的性能指標

6517B把吉時利數十年的弱電測量技術知識融匯到創(chuàng)新的低電流輸入放大器中，輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p，較低電流范圍上壓降<20μV。對近似理想的電路負荷，電壓電路輸入阻抗超過200TΩ。這些指標保證了所需的準確度和靈敏度，可以在物理、光學、納米科技和材料科學等領域準確地進行低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量。內置 ±1 kV電壓源擁有掃描功能，簡化了絕緣材料上的漏流、擊穿和電阻測試及體電阻率 (W-cm) 和表面電阻率(W/square) 測量工作。

寬測量范圍

6517B在電流、電阻、電壓和電荷測量量程的整個頻寬上提供了自動量程功能。6517B融合了以下測量功能：

超靈敏電流表，可測量10aA~20mA電流

阻抗最高的電壓表，可測量1mV~200V電壓

超高范圍電阻表，可測量1Ω~1018Ω電阻

靈敏的電量計，可測量1fC~2μC電荷

交換電極電壓源方法消除了材料中背景電流的影響，可以進行可重復的、準確的高阻和電阻率測量。

改進高電阻率測量

許多測試應用要求材料有高電阻率 ( 表面或體積 )。傳統(tǒng)測量方法對樣本應用足夠大的電壓，測量流經樣本的電流，然后使用歐姆定律 (R=V/I) 算出電阻。盡管高阻材料和器件產生的電流很小，很難準確測量，但吉時利靜電計和皮安計可以成功地完成這些測量。

即使使用的是優(yōu)質儀器，材料中固有的背景電流仍可能使其很難準確地執(zhí)行測量。由于壓電效應、靜電對電容元件充電 及偏振效應，絕緣材料、聚合物和塑料一般都有背景電流。背景電流通常大于等于應用的電壓產生的電流。在這些情況 下，結果通常會不穩(wěn)定，提供的電阻讀數或電阻率讀數不準，甚至會產生錯誤的負值。吉時利6517B就是為解決這些問 題而設計的，可以一致地、可重復地、準確地測量各種材料和元件，特別是在與8009電阻率測試夾具結合使用時。

交換電較高電阻率測量方法

6517B采用交換電極方法，幾乎消除了樣本中任何背景電流的影響，另外也抵消了背景電流的一級和二級漂移。交換電極方法應用正極性電壓，然后在延遲 ( 測量時間 ) 后測量電流。然后顛倒極性，使用相同的延遲再次測量電流。 這一過程一直重復，最后根據四個新電流測量的加權平均值計算出電阻。 在大多數材料上，通過7次反轉 ( 即舍棄前三個讀數 )，這種方法一般可以得出高度可重復的、準確 的電阻 ( 或電阻率 ) 測量數據。例如，在8009電阻率測試夾具中，可以以 0.3%的可重復率測量1mm厚的1014Ω-cm材料樣本，在15秒周期內得到<200fA的背景電流變化。

與內置源增強高阻測量準確度

濕度和溫度會明顯影響材料的電阻率值。為幫助您準確比較 在變化條件下采集的讀數，6517B提供了一個內置K型熱電耦，并可以選配6517-RH相對濕度探頭。內置50,000個讀數的數據存儲緩沖器可以記錄和調用測量數據，包括測量時間、溫度和相對濕度戳記。

完整的高電阻率測量解決方案

可以使用以下套件，采用標準ASTM D-257“絕緣材料的DC電阻或電導”規(guī)定的方法執(zhí)行高電阻率測量：

KICKSTARTFL-HRMA2高電阻率應用，適用KickStart儀器軟件控制環(huán)境

6517B靜電計

8009電阻率測試夾具

KickStart高電阻率應用控制著執(zhí)行所需測量的靜電計和測試夾具，進行ASTM-D-257標準電阻率測量。它可以以高達1000V電壓測試材料，確定高達1018Ω-cm的電阻率，分析電流隨時間變化的階躍響應圖，確定測量要等多長時間被測材料才會穩(wěn)定，分析多個讀數圖，確保獲得穩(wěn)定一致的測量。KickStart高阻應用采用交換電極技術，消除固有的背景電流，實現準確的電阻率測量。還可以使用這個應用，使用選配的熱電偶和相對濕度探頭，觀測電阻率與溫度和相對濕度的關聯(lián)度。

ASTM-D257標準高電阻率測試系統(tǒng)及6517B靜電計、8009電阻率測試夾具和KickStart高電阻率應用。

KickStart高電阻率階躍響應圖

KickStart高電阻率電阻率圖。

內部測試序列擴展并簡化應用

6517B擁有大量的內部測試序列，協(xié)助簡便地設置和執(zhí)行各種測試。器件表征序列包括二極管漏流測量、電容器漏流測量、電纜絕緣電阻測量和電阻器電壓系數測量。電阻率和電阻測試包括體電阻率、表面電阻率和表面絕緣電阻測試?？梢允褂梅讲ê蜆翘轀y試序列，表征參數與電壓的關系。

除內置測試外，6517B還擅長在物理學、光學和材料科學等科研領域進行低電流、高阻抗電壓、電阻和電荷測量。靜電計的超低壓降，使其特別適合太陽能表征應用，其內置電壓源和低電流靈敏度則使其特別適合納米材料高阻測量，如基于聚合物的納米線、其他納米材料、陶瓷、介電膜和生物材料。

由于快速響應測量和類DMM的操作方式，6517B特別適合涉及漏流、擊穿和電阻測試的品控工程設計和生產測試應用。6517B的電壓反轉方法專門加強了非導電材料上的體積和表面電阻率測量。6517B還特別適合電化學應用，如高阻抗、離子選擇電極和pH測量、電導池和電勢分析。

6514 6517B 6430高電阻低電流靜電測試儀典型應用：

納米材料表征

聚合物電氣表征

波束測量

劑量測定

器件漏流測量

絕緣電阻測量

光電檢測器表征

體積和表面電阻率

多種附件擴展測量功能

可以使用多種選配附件擴展6517B型靜電計/高阻表的應用，并改進其性能。8009電阻率測試夾具是一款受保護的測試夾具，用于樣本材料的體電阻率和表面電阻率測量。它包括按ASTM標準構建的不銹鋼電極。該夾具的電極尺寸已在6517B 型靜電計/高阻表預編程，因此無需計算其數值再手動輸入。這個附件旨在保護用戶避免接觸潛在的危險電壓， 一旦開啟夾具蓋，其將自動關閉6517B靜電計/高阻表的電壓源輸出。

8009電阻率測試夾具滿足美國測試材料協(xié)會 (ASTM) D257 標準規(guī)定的絕緣材料DC電阻或電導標準測試方法。8009與 6517B相結合，為進行安全的電阻率測量提供了完整的系統(tǒng)。8009帶有6517B-ILC-3安全互鎖電纜、7078-TRX-3三同軸到三同軸電纜及8607 1kV源電壓香蕉插口成套電纜。

6521低電流掃描卡是一種10通道復用器，旨在在多點測試應用或必須改變測試配置時切換低電流。每條通道上的偏置電流<1pa，每條通道之間保持高隔離度>1015Ω)。即使在反選通道時，6521仍保持電流路徑，是真正的電流開關。 BNC輸入連接器幫助為靈敏測量提供屏蔽，掃描卡兼容低噪聲同軸電纜。6521特別適合在半導體連接上自動進行反向漏流測試，或在FET上進行柵極漏流測試。

6522電壓/低電流掃描卡可以提供最多10通道低電流、高阻抗電壓、高阻或電荷切換。盡管它在許多方面與6521類似，但6522的輸入連接器是3接線柱三同軸連接器。掃描卡可以通過軟件配置，切換高達200V的高阻抗電壓。三同軸連接器則可以支持超過接地500V浮動電壓及高達200V驅動保護。