化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)> 干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06
- 公司名稱 北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
- 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/9/23 16:22:50
- 訪問次數(shù) 261
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• 干式液氦溫區(qū)探針臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)
△ 真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜);
△ 探針控制:標(biāo)配6個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;
△ 顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物鏡時(shí)),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦;
△ 變溫樣品臺(tái):直徑標(biāo)配50mm,可選配150mm。變溫范圍:6K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;
△ 可選配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖;
△ 系統(tǒng)直流漏電低于1pA;
△ 產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。