設備基本參數

1．方阻測量范圍：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq

2．四探針探頭測量金屬類型：鋁 / 鈦 / 鎳釩 / 金 / 銅 等金屬

3．四探針探頭測量金屬厚度：100A～10μm

4．四探針系統電流量程：1μA , 10μA , 100μA , 1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七檔

5．四探針標準晶圓方阻重復性：1，≤±0.1%（同點靜態(tài)測量）2，≤±0.2%    （動態(tài)多點測量）

6．四探針標準晶圓測量精度：≤±1%（典型晶圓）

7．量測區(qū)域：以探針頭的中心到晶圓的邊緣距離3mm

8．測試圖形：1，極地圖形（在對位晶圓的notch) 2，矩形圖形（無效邊緣排除以外進行選擇） 3，直線掃描（可以是直徑，半徑或沿直徑的點到點，最小距離0.1mm) 4，用戶自定義（使用模板）

9．測量圖形表示：可以為輪廓圖，3D圖，water上顯示的數據圖數據表示

10．探針自清潔功能：陶瓷片清潔

11．所有設備測量的數據文件可以被導入到Excel，Word文檔，工作站等，數據圖形可以合并