MKP高精度氣體流量控制器

MKP高精度氣體流量控制器

吳經(jīng)理： 135.3421,8343

介紹：

MKP產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各種科研實(shí)驗(yàn)、工業(yè)設(shè)備、以及高精密儀器中，因其可以配備多種通訊模式、高準(zhǔn)確度、精度以及重復(fù)性，以及簡(jiǎn)單的安裝方式和良好的可操控性等諸多優(yōu)勢(shì)。例如，在石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科，環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域中，氣體質(zhì)量流量控制器都有著重要的應(yīng)用。?

韓國(guó)MKP于2012年在國(guó)內(nèi)shou次成功開發(fā)并生產(chǎn)半導(dǎo)體工程用MFC,成長(zhǎng)為半導(dǎo)體及顯示器工程裝備的核心零部件企業(yè)。不僅如此，通過像燃料電池，天然氣產(chǎn)業(yè)，等離子體主要產(chǎn)業(yè)工程供應(yīng)MFC,隨著

韓國(guó)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，正在持續(xù)增長(zhǎng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

因適用PTFE DISK，整個(gè)區(qū)間的回應(yīng)時(shí)間快

對(duì)毒性和腐蝕性氣體的耐久性大幅增加

采用浪涌及耐電壓保護(hù)電路

通過溫度補(bǔ)正，在周圍溫度變化下也可維持準(zhǔn)確度

MKP新型號(hào)：

數(shù)字質(zhì)量流量控制器：

VIC-S220，VIC-W220

TSM-L100系列:

TSM-L120,TSM-L130

MPR-Z300

EXO-100防爆流量控制器：

EXO-110，EXO-120，EXO-U145，EXO-U150

小流量MFC流量控制器VIC-S220，VIC-W220

產(chǎn)品參數(shù)

流量范圍(N2 標(biāo)準(zhǔn))：50~200slm

流量控制范圍：滿量程的2 ~ 100

準(zhǔn)確度：滿量程的≤ ± 1%

回應(yīng)時(shí)間：≤ 1.0 sec (10 ~ 100)

線性：滿量程的≤ ± 0.2%

運(yùn)轉(zhuǎn)原理；熱式

控制閥形式：Normally Closed Solenoid

密封種類:Elastomer (Viton, Viton-ETP , Kalrez, etc.)

輸入輸出信號(hào)：模擬性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

數(shù)字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)

電源供應(yīng)：+15VDC ~ +24VDC

運(yùn)轉(zhuǎn)溫度；5 ~ 50℃ (建議溫度范圍: 15 ~ 35℃)

連接器；Standard : D-SUB 9 pin Male