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SU8600 日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

參考價(jià) 15876
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設(shè)立的中國子公司,專業(yè)從事國內(nèi)貿(mào)易/國際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化多類上萬種產(chǎn)品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力,可控的交期和匹配的物流體系,科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)漠a(chǎn)品質(zhì)量,專業(yè)的線下服務(wù)能力,為客戶提供極有競爭力的價(jià)格以及各方位的技術(shù)支持








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日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

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特點(diǎn)

超高分辨成像


日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡
日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡



0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實(shí)例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細(xì)微的臺階結(jié)構(gòu)清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。



樣品提供:日本工業(yè)技術(shù)綜合研究所 上村 佳大 先生



高襯度的低加速電壓背散射圖像


3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時(shí)間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.


日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

5納米制程SRAM的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察 (加速電壓:30kV,掃描時(shí)間<1秒)


先進(jìn)的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后,該程序便可以在每次調(diào)用時(shí)自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

靈活的用戶界面


原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時(shí)顯示與保存,實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。



日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡



1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時(shí)顯示,可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)??梢酝ㄟ^使用兩個顯示器來擴(kuò)展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。




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