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customized 硅芯清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)


1. 產(chǎn)品概述:

英思特硅芯清洗機(jī)是專門用于硅芯清洗的設(shè)備,通過一系列特定的清洗工藝和技術(shù),有效去除硅芯表面的雜質(zhì)、污垢、氧化物等,以達(dá)到硅芯在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域應(yīng)用所需的高潔凈度要求。它通常由清洗槽、漂洗槽、干燥系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等部分組成,各部分協(xié)同工作,實(shí)現(xiàn)對(duì)硅芯的自動(dòng)化清洗流程。

2. 設(shè)備應(yīng)用

· 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):在半導(dǎo)體芯片制造中,硅芯是重要的基礎(chǔ)材料。硅芯清洗機(jī)用于清洗硅芯,為后續(xù)的外延生長(zhǎng)、摻雜等工藝提供潔凈的硅芯表面,確保芯片的質(zhì)量和性能。例如,在制造高純度的半導(dǎo)體器件時(shí),硅芯表面的潔凈度直接影響到器件的電學(xué)性能和可靠性。

· 光伏產(chǎn)業(yè):用于光伏電池生產(chǎn)中硅芯的清洗,提高硅芯的表面質(zhì)量,從而提升光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。

 

3. 設(shè)備特點(diǎn)

1.產(chǎn)品用途:適用于2"~8"硅芯清洗

2.設(shè)備介紹:本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺(tái)設(shè)備均采用進(jìn)口件.

基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國(guó)茲白色聚丙烯(PP)

門板材質(zhì):德國(guó)透明聚氯乙烯(PVC)

腐蝕槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)

清洗槽材質(zhì):德國(guó)自然色聚丙烯板(NPP)

腐蝕槽配有美國(guó)聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器

清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置

整機(jī)外形美觀,實(shí)用

3.設(shè)備外形尺寸:2000X1000X1800(mm)

4.設(shè)備重量:8000Kg(約)

5,設(shè)備控制方式: PLC結(jié)合操作觸摸屏控制

6.設(shè)備動(dòng)力條件:電源:380VAC+-10%頻率 50HZ+-10%,三相五線制

整機(jī)額定電功率(參考):20KW

電氣性能:E級(jí),并有良好的接地

水工:壓力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口徑DN25

DIW:壓力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),電阻率15MDN25

氣源壓縮空氣:0.3~0.5MPa,口徑3/8"(配有水分離器)

排廢:DN50

排廢酸:DN40

排風(fēng):DN200

環(huán)境要求:空氣溫度5-40°C;相對(duì)濕度:80

 




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