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膜厚量測儀 FE-300

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膜厚儀

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上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013年,是一家專業(yè)從事科學(xué)儀器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技技術(shù)企業(yè)。公司主要服務(wù)于各大高校、科研院所和高*工業(yè)客戶。主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀、熒光光譜儀,膜厚測量儀,探測器響應(yīng)分析儀、太陽能電池量子效率測試系統(tǒng)等科研實驗室儀器;及光學(xué)機械加工設(shè)計,電子測量等專業(yè)的解決方案服務(wù)。公司以“專注質(zhì)量、用心服務(wù)”為核心價值。希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,力爭為中國的科研及精密制造事業(yè)貢獻一股力量。

上海波銘科學(xué)儀器公司為美國理波公司(Newport)、日本大塚(Otsukael)正式代理商。配有專業(yè)光學(xué)技術(shù)人員,專注于光學(xué)儀器市場的開發(fā)和應(yīng)用,已經(jīng)為復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、上海科技大學(xué)、南京大學(xué)、中國科技大學(xué)、北京大學(xué)、清華大學(xué)、聯(lián)影醫(yī)療、思特威電子等用戶提供專業(yè)的服務(wù)。

公司成立多年來,我們一直秉承以用戶需求為核心,在專注光學(xué)等核心技術(shù)市場的同時,已經(jīng)為超過一百家高??蒲性核推髽I(yè)提供了成套和部分的解決方案服務(wù)。優(yōu)質(zhì)、用心的服務(wù)贏得了眾多用戶的信賴和好評。公司不僅僅提供專業(yè)的光學(xué)解決方案服務(wù),同時還建立了完善的售后服務(wù)體系。我們相信,通過我們的不斷努力和追求,一定能夠?qū)崿F(xiàn)與高校、企業(yè)、科研院所的互利共贏!

 

 

 

光學(xué)測試系統(tǒng);光源/激光器;光譜儀;光電探測器;電子數(shù)據(jù)采集器;光學(xué)平臺;電動位移臺;手動位移臺;調(diào)整架;光學(xué)元件

產(chǎn)品信息

特殊長度

●支持從薄膜到厚膜的各種薄膜厚度

●使用反射光譜分析薄膜厚度

●實現(xiàn)非接觸、非破壞的高精度測量,同時體積小、價格低

●簡單的條件設(shè)置和測量操作!任何人都可以輕松測量薄膜厚度

●通過峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法、優(yōu)化法等,可以進行多種膜厚測量。

●非線性最小二乘法薄膜厚度分析算法可以進行光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))。

測量項目

絕對反射率測量

膜厚分析(10層)

光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))

測量對象

功能膜、塑料
透明導(dǎo)電膜(ITO、銀納米線)、相位差膜、偏光膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合劑、膠粘劑、保護膜、硬涂層、防指紋, 等等。

半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體、Si、氧化膜、氮化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、藍寶石等。

表面處理
DLC涂層、防銹劑、防霧劑等。

光學(xué)材料
濾光片、增透膜等。

FPD
LCD(CF、ITO、LC、PI)、OLED(有機膜、封裝材料)等

其他
HDD、磁帶、建筑材料等

原理

測量原理

大冢電子利用光學(xué)干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學(xué)干涉測量法是一種使用分光光度計的光學(xué)系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學(xué)膜厚的方法,如圖 2 所示。以涂在金屬基板上的薄膜為例,如圖1所示,從目標(biāo)樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學(xué)干涉現(xiàn)象,并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學(xué)干涉法。分析方法有四種:峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法和優(yōu)化法。

膜厚量測儀 FE-300

規(guī)格

類型薄膜型標(biāo)準(zhǔn)型
測量波長范圍300-800nm450-780nm
測量膜厚范圍
(SiO 2換算)
3nm-35μm10nm-35μm
光斑直徑φ3mm / φ1.2mm
樣本量φ200×5(高)mm
測量時間0.1-10s內(nèi)
電源AC100V ± 10% 300VA
尺寸、重量280 (W) x 570 (D) x 350 (H) 毫米,24 公斤
其他參考板,配方創(chuàng)建服務(wù)

設(shè)備配置

光學(xué)家譜

膜厚量測儀 FE-300

 

軟件畫面

膜厚量測儀 FE-300




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