工業(yè)半導體微納加工二維材料實驗室設備
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/10/10 13:41:29
- 訪問次數 430
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價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 環(huán)保,生物產業(yè),石油,制藥,綜合 |
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工業(yè)半導體微納加工二維材料實驗室設備的優(yōu)勢:
用于敏感襯底的PEALD:
真遠程等離子體源能夠在低溫<100°C下高均勻度和高保形性地覆蓋敏感襯底和膜層,在樣品表面提供高通量的反應性氣體,而不受紫外線輻射或離子轟擊。
用于工藝研發(fā)和改善的實時監(jiān)測:
ALD實時監(jiān)視儀RTM的原位診斷實現了單一ALD循環(huán)的超高分辨率。優(yōu)點是確認ALD范圍,減少處理時間和總生產成本。采用橢偏光譜、QCM和QMS進行原位診斷,也是我們原子層沉積設備的優(yōu)點。
簡易的腔體清洗:
定期反應腔體清洗對于穩(wěn)定和可重復的原子層沉積工藝是的。借助于用于清洗原子層沉積系統(tǒng)的升降裝置,可以容易地打開反應腔體。
集成手套箱:
SENTECH原子層沉積設備與各種供應商的手套箱兼容。
工業(yè)半導體微納加工二維材料實驗室設備多腔集成:
原子層沉積設備可作為SENTECH多腔系統(tǒng)的一個模塊。我們的原子層沉積設備可以與SENTECH PECVD和蝕刻設備結合用于工業(yè)應用。可選的多腔系統(tǒng)也具備片盒到片盒裝片的特點。
SENTECH二維材料刻蝕沉積實現了熱ALD和等離子體增強ALD操作。ALD設備可以配置為用于氧化物、氮化物和金屬沉積。三維結構具有出色的均勻性和保行性。利用ALD、PECVD和ICPECVD,SENTECH提供等離子體沉積技術,用于從納米尺度沉積到數微米的薄膜沉積。
SENTECH ALD設備實現了熱ALD和等離子體增強ALD膜交替沉積多層結構。熱ALD和等離子體增強ALD可在同一個反應腔體中用快門來切換。
SENTECH提供了前沿的快速原位監(jiān)測技術,實時監(jiān)測和廣泛范圍的光譜橢偏儀可逐層監(jiān)測薄膜生長。
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