簡(jiǎn)介

Jordan Valley公司新設(shè)計(jì)的Delta-X是多功能的X射線衍射設(shè)備，可靈活應(yīng)用于材料科學(xué)研究、工藝開(kāi)發(fā)、與生產(chǎn)質(zhì)量控制。Delta-X衍射儀的光源臺(tái)和探測(cè)臺(tái)的光學(xué)元件可以自動(dòng)化調(diào)控，并采用水平式樣品臺(tái)。Delta-X衍射儀可以在常規(guī)衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換。光學(xué)配置的切換完在菜單式程序控制下由計(jì)算機(jī)完成，無(wú)需手動(dòng)操作。自動(dòng)化切換和準(zhǔn)直不需要專(zhuān)門(mén)人員和操作設(shè)備，并確保每次切換都能達(dá)到好的光學(xué)準(zhǔn)直狀態(tài)。

常規(guī)的樣品測(cè)量可以通過(guò)Delta-X衍射儀，實(shí)現(xiàn)部分、乃至完的自動(dòng)化運(yùn)行，自動(dòng)化測(cè)量程序可以依客戶需求進(jìn)行專(zhuān)門(mén)定制。也可采用完的手動(dòng)模式操作Delta-X衍射儀，以便發(fā)展新測(cè)量方法，研究新材料體系。

數(shù)據(jù)分析或擬合可以作為測(cè)量程序的一部分，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，也可依據(jù)需要單獨(dú)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。 依半導(dǎo)體生產(chǎn)線的需求，將RADS和REFS擬合軟件以自動(dòng)化模式運(yùn)行，允許在沒(méi)有用戶干擾的情況下自動(dòng)完成常規(guī)性的數(shù)據(jù)分析，并直接完成數(shù)據(jù)擬合和結(jié)果輸出。RADS和REFS也可以單獨(dú)安裝，以便進(jìn)行更詳細(xì)的數(shù)據(jù)分析。

Delta-X衍射儀能滿足科學(xué)研究所和技

術(shù)開(kāi)發(fā)中心 不同材料體系的方位測(cè)試

需求。

Delta-X 衍射儀的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

n 自動(dòng)化進(jìn)行樣品準(zhǔn)直、測(cè)試、和數(shù)據(jù)分析

n 客戶可以自行設(shè)定測(cè)量的自動(dòng)化程度

n 300mm的歐拉環(huán)支架(Eulerian Cradle)設(shè)計(jì)，高精度的樣品定位和掃描

n 300mm的晶片水平式放置，且可以完整mapping

n 100º的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍、無(wú)限制范圍的Phi軸旋轉(zhuǎn)空間，可實(shí)現(xiàn)極圖和殘余應(yīng)力測(cè)試

n 智能化的光學(xué)配置切換和準(zhǔn)直。依測(cè)量需要，自動(dòng)選擇光學(xué)配置并實(shí)施光學(xué)準(zhǔn)直

n 工業(yè)界先的設(shè)備控制軟件和數(shù)據(jù)分析軟件

n 高分辨率測(cè)角儀，以保證精密且準(zhǔn)確的測(cè)量

n 高強(qiáng)度的光源臺(tái)設(shè)計(jì)和光學(xué)元件組合，以實(shí)現(xiàn)快速測(cè)量

n 多方面廣泛的測(cè)試技術(shù)和測(cè)量參數(shù)

n 由擁有超過(guò)30年的高分辨率X射線衍射經(jīng)驗(yàn)的世jie級(jí)專(zhuān)家設(shè)計(jì)、制造，具有球客戶經(jīng)驗(yàn)。

Delta-X衍射儀的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

自動(dòng)化控制的光學(xué)系統(tǒng):

Delta-X衍射儀的入射束包括多種標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)配置模式，以便使光學(xué)配置具有充分的靈活性，且易于操作?？梢砸罁?jù)測(cè)量樣品的材料類(lèi)型，選擇參考晶體。

n 標(biāo)準(zhǔn)模式：用于所有系統(tǒng)，平行束多層膜高反鏡

n 其他四種光學(xué)系統(tǒng)可以選擇和安裝：

n Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)

n Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)和一個(gè)參考晶體(二次反射)

n 兩個(gè)獨(dú)立的參考晶體(二次反射)：參考晶體的材料類(lèi)型和分辨率有多種設(shè)計(jì)供選擇，以便提供與測(cè)量     匹配的分辨率。

n 兩個(gè)參考晶體，以Bartels模式安裝

n 參考晶體和高反鏡均可自動(dòng)化切換

n 不需要將參考晶體和高反鏡手動(dòng)移出衍射儀，保證光學(xué)元件不被損壞、不偏離準(zhǔn)直狀態(tài)。

n 衍射儀的初始準(zhǔn)直易于操作，安 可靠，無(wú)需在設(shè)備內(nèi)開(kāi)啟X射線操作。