勻膠機(jī)
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/10/22 15:34:31
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純水機(jī)，離心機(jī)，旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀，光譜儀，質(zhì)譜儀，頻譜儀，示波器，掃描電子顯微鏡，電化學(xué)工作站,，流式細(xì)胞儀，手套箱，磁控濺射
一、產(chǎn)品介紹
CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，最多100個階段。
u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u 多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；
蓋子自鎖功能，防止飛片蓋開傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
u 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。
u 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
u 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
u 上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置
u 可選氮?dú)獯蹈伞⒌獨(dú)獗Ｗo(hù)，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。
u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
三、技術(shù)參數(shù)
型號 | 轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸（LxWxH）mm |
SC1 | 50-10000 | ±1％ | 0-2000S | 圓片Φ5-100,方片100x100 | 335x256x210 |
SC2 | 50-10000 | ±1％ | 0-2000S | 圓片Φ5-150,方片150x150 | 375x295x220 |
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