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日本 Certas Leaga 化學(xué)氣體刻蝕系統(tǒng)
| 參考價 | ￥ 780000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 深圳市科時達(dá)電子科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/4 16:46:20
- 訪問次數(shù) 129
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本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售，是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品；電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售，半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售；國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口；醫(yī)療器械研發(fā)及銷售；醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等
化學(xué)氣體刻蝕系統(tǒng) Certas Leaga
Certas LEAGA是一種率的系統(tǒng)，除了Certas WING的基本性能之外，還可以滿足單個平臺上的多個流程需求。針對當(dāng)前和下一代設(shè)備的大量生產(chǎn)，LEAGA具有易于配置的主機(jī)，可以進(jìn)行優(yōu)化，以匹配所需的應(yīng)用程序。擴(kuò)展了Certas系列的工藝技術(shù)，現(xiàn)在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性，從非選擇性到高度選擇性，為從大批量生產(chǎn)到下一個廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵接口提供控制一代發(fā)展。
特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜
集群雙晶圓腔室設(shè)計提供靈活的模塊配置
應(yīng)用
二氧化硅膜去除和回蝕
在硅接觸之前進(jìn)行預(yù)清潔
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