生命科學(xué)無(wú)掩膜光刻機(jī)（BIO系列）是一款專(zhuān)為生命科學(xué)領(lǐng)域設(shè)計(jì)的紫外光刻設(shè)備。

特征尺寸1μm：BIO系列無(wú)掩膜光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)1μm的精細(xì)特征尺寸，這對(duì)于生命科學(xué)領(lǐng)域中的微納加工技術(shù)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要，可以滿足高精度圖案化的需求。

高深寬比：設(shè)備采用了更短的波長(zhǎng)光源，結(jié)合優(yōu)化的光刻工藝，實(shí)現(xiàn)了更高的深寬比，這對(duì)于制備厚膠層和高 aspect ratio 的微結(jié)構(gòu)至關(guān)重要。

無(wú)掩膜光刻技術(shù)：BIO系列無(wú)需傳統(tǒng)掩膜版，直接通過(guò)計(jì)算機(jī)生成的光束進(jìn)行光刻，大大提高了生產(chǎn)的靈活性和效率，同時(shí)降低了成本。

適用于厚膠工藝：BIO系列無(wú)掩膜光刻機(jī)的高深寬比特性使其非常適合于厚膠層的微加工，這在生命科學(xué)領(lǐng)域，尤其是微流控芯片的制造中尤為重要。

微流控芯片制造：設(shè)備能夠精確地制造出微流控芯片上的微通道、微室和其他復(fù)雜結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)對(duì)于生物樣品的處理、分析至關(guān)重要。

研究與應(yīng)用支持：BIO系列無(wú)掩膜光刻機(jī)為生命科學(xué)研究提供了強(qiáng)有力的工具，使得科學(xué)家能夠探索新的實(shí)驗(yàn)方法，推動(dòng)生物技術(shù)、藥物篩選、細(xì)胞培養(yǎng)等領(lǐng)域的發(fā)展。

靈活性與定制化：無(wú)掩膜光刻技術(shù)允許用戶快速更換設(shè)計(jì)圖案，實(shí)現(xiàn)定制化生產(chǎn)，這對(duì)于不斷變化的科研需求和市場(chǎng)應(yīng)用尤為重要。

節(jié)省時(shí)間和成本：由于省去了掩膜版的制作環(huán)節(jié)，BIO系列無(wú)掩膜光刻機(jī)能夠顯著縮短研發(fā)周期，降低生產(chǎn)成本。

環(huán)保與可持續(xù)性：無(wú)掩膜光刻技術(shù)減少了化學(xué)試劑的使用和廢棄物的產(chǎn)生，符合環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求。

BIO系列生命科學(xué)無(wú)掩膜光刻機(jī)以其高深寬比、高精度和無(wú)掩膜光刻技術(shù)的特點(diǎn)，為生命科學(xué)領(lǐng)域提供了一種高效、靈活且環(huán)保的微加工解決方案。它的出現(xiàn)不僅為科學(xué)研究提供了新的工具，也為生物醫(yī)療設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室儀器的制造帶來(lái)了創(chuàng)新的可能。