石英舟清洗機(jī)是一種專門用于清洗半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的石英舟和石英管的設(shè)備。以下是對(duì)石英舟清洗機(jī)的詳細(xì)介紹：

設(shè)備構(gòu)成

機(jī)械手：帶動(dòng)花籃進(jìn)行水平和升降運(yùn)動(dòng)，使石英舟在超純水工藝槽和化學(xué)工藝槽內(nèi)進(jìn)行振動(dòng)清洗。

管路系統(tǒng)：對(duì)廢液進(jìn)行分類排放及回收，減少?gòu)U液處理過(guò)程中的浪費(fèi)，節(jié)省回收成本。

自動(dòng)補(bǔ)液功能：通過(guò)液位傳感器控制，確保清洗液的穩(wěn)定供應(yīng)。

技術(shù)特點(diǎn)

藥液循環(huán)過(guò)濾：保持清洗液的清潔度，提高清洗效果。

爐管滾動(dòng)：使石英舟在清洗過(guò)程中均勻受力，避免局部殘留。

獨(dú)取樣口：方便對(duì)清洗效果進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。

安全措施：排酸權(quán)限分級(jí)、排酸彈窗確認(rèn)、門鎖Interlock、EMO等，確保設(shè)備操作的安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的石英舟和石英管的清洗，如8寸/12寸等多種尺寸的石英舟/石英管。