PDS 2035CR沉積系統(tǒng)特征包括:

基于Windows®的計算機控制系統(tǒng)及15寸液晶顯示器圖形化用戶界面涂敷參數(shù)的輸入，監(jiān)視和診斷報告可編程作，無限制的涂敷工藝程序儲存精確的計算機處理所有的加工參數(shù)用于純凈車間的遙控電腦控制觸摸屏雙控制安全保護裝置雙通道腔室，用于在純凈室內(nèi)裝載工件而從潔凈室外部對沉積腔進行清潔和維護UPS后備電源預(yù)防在工作周期中電源斷電對涂敷產(chǎn)品造成損壞

內(nèi)置的機械制冷系統(tǒng)

PDS 2035CR沉積系統(tǒng)規(guī)格:

系統(tǒng)尺寸 ：

長x寬x高： 178 x 89 x 165 cm/7 0 x 3 5 x 6 5 ”

蒸發(fā)室容量： 0.5 kg /1.1 lb

標準沉積腔容量： 35.3 升

標準沉積腔尺寸

直徑x高：35.6 x 35.6 cm / 14 x 14”

電源：220 VAC, 1Φ, 50 Hz, 50A

380 VAC, 3Φ, 50 Hz, 25A

內(nèi)置機械冷凝器系統(tǒng)及低溫探針溫度傳感器

溫度：-100°C (-166°F)

涂敷的創(chuàng)新設(shè)計

與來自SCS其它的技術(shù)一樣，PDS 2035CR 結(jié)合了精確的、可重復(fù)性的元件涂敷及科研對設(shè)備的高要求。通過蒸發(fā)沉積處理，系統(tǒng)適合于在多種表面涂敷聚合物，包括金屬、玻璃、硅、塑料、柔性材料和鐵氧體。透明Parylene 薄膜符合基材的形狀，提供了高絕緣強度和光滑的干膜，同時具有阻隔潮濕和溶劑的能力。在過去的30年里，Parytene 被廣泛的應(yīng)用于醫(yī)療、電子和汽車工業(yè)領(lǐng)域。無針孔和其生物相容性， Parylene涂敷是用于關(guān)鍵部件保護非常理想的選擇。PDS 2035CR可以使這種保護在清潔高效的環(huán)境中得到優(yōu)化，同時僅占用很小的寶貴的潔凈室空間。