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無金屬污染循環(huán)式臭氧水生成裝置采用循環(huán)方式存水?棄水非常少濃度上升快(1分鐘內生成臭氧水)根據(jù)清洗工藝可生成穏定濃度流量的臭氧水 無金屬汚染臭氧水采用自主研発技術，生成適用於半導體清洗的臭氧水小型化?重量輕?無需冷卻水外形尺寸611W×590D×1317H, 重量約87kg搭載散熱器

無金屬污染循環(huán)式臭氧水生成裝置臭氧発生方式無聲放電法冷卻方式 空冷溶解法 射流方式臭氧水濃度測定 內蔵 紫外線式臭氧水濃度計臭氧水濃度 MAX 60ppm MAX 80ppm臭氧水水流量 MAX 7L/min MAX 50L/min外寸 611W×590D×1317H -重量 87Kg -消費電力 1kW -原料氧氣條件 圧力0.3MPa 純度99.5％（添加CO2或者N2)原料水條件 超純水?純水?市水 0.25MPa原料水溫度 25℃以下互鎖關系 漏水, 內部圧力異常, 臭氧泄漏,臭氧発生器異常