測量顯微鏡 STM7系列產(chǎn)品介紹

1、優(yōu)異的光學(xué)性能

UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)：采用UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)，能有效消除像差，使觀察到的圖像具有很高的分辨率和對比度，可確保對微小細(xì)節(jié)進(jìn)行高精度測量，無論是微觀結(jié)構(gòu)觀察還是表面形貌檢測，都能提供準(zhǔn)確可靠的結(jié)果。
多種照明模式：配備了LED照明系統(tǒng)，白色光用于反射光照明，綠色光用于透射光照明，還提供分段式 LED 照明，可實現(xiàn)定向暗場和不同角度的靈活照明，為復(fù)雜樣品的探索和分析提供了良好的可視性。
2、強(qiáng)大的測量功能

高精3軸測量：拋棄傳統(tǒng)平面測量方式，采用主動反射方法以及共聚焦方法，實現(xiàn)高精度的3軸測量，可滿足現(xiàn)代制造業(yè)對小型化和精密化產(chǎn)品在 X、Y、Z 軸方向的高精度測量需求。
自動聚焦系統(tǒng)：開發(fā)出全自動聚焦系統(tǒng)，可有效提高測量的整體準(zhǔn)確度，帶來精確且具有高度重復(fù)性的檢測結(jié)果，減少由于人工操作帶來的結(jié)果偏差，測量結(jié)果十分可靠。
多種載物臺選擇：擁有3款靈活的載物臺，如 STM7-CS50 的載物臺測量范圍為 X 軸 50mm，Y 軸 50mm；STM7-CS100 的載物臺測量范圍為 X 軸 100mm，Y 軸 100mm，還有更大尺寸的載物臺，可滿足不同大小樣品的測量需求。
測量精度高：對于標(biāo)準(zhǔn)樣品，平面測量精度≤3μm+2%*l（l 為測量長度）；z 軸測量精度≤5μm+3%*l（l 為測量長度）。對于開口寬度為 40μm、深度超過 120μm（深寬比 > 3）的深硅刻蝕槽樣品，深度測量誤差≤5μm3。
3、出色的操作性能

便捷的控制器：僅借助單一的控制器就幾乎可以執(zhí)行所有的測量操作，如照明控制、自動聚焦、讀數(shù)重置等，提高了操作人員的工作效率，單手即可輕松操作，非常便利。
豐富的物鏡選擇：搭配了實用的測量物鏡和多種金相物鏡，使不同形狀、大小、距離的樣品都能被精準(zhǔn)測量，無論是高倍率還是低倍率觀察都能輕松實現(xiàn)。
人性化設(shè)計：計數(shù)器顯示功能可顯示 3 軸測量數(shù)據(jù)，單位包括毫米、微米、英寸、密耳等，最小分辨率可達(dá) 0.1μm，方便用戶讀取和記錄數(shù)據(jù)。顯微鏡的設(shè)計充分考慮了用戶的操作習(xí)慣，即使是初學(xué)者也能快速上手。
4、可靠的硬件設(shè)計

堅固穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)：采用高度耐用、抗振動的框架，并搭配花崗巖表面板，有效隔絕外部振動和干擾，確保顯微鏡在長時間使用后仍能保持高精度測量，使測量可達(dá)到亞微米水平。
多種型號選擇：STM7 系列有手動 Z 軸模型和電動 Z 軸模型可供選擇，每種模型又有多種載物臺和功能配置，用戶可根據(jù)實際需求進(jìn)行靈活搭配，以滿足不同的測量任務(wù)。

測量顯微鏡 STM7系列產(chǎn)品應(yīng)用：

半導(dǎo)體行業(yè)：可用于半導(dǎo)體晶圓、芯片的尺寸測量、形貌觀察、缺陷檢測等，幫助確保半導(dǎo)體制造過程的精度和質(zhì)量。

電子元件制造：對電子元件如電容、電阻、電感等的尺寸測量、形狀檢測以及引線鍵合的質(zhì)量控制等方面發(fā)揮著重要作用，可有效保障電子元件的性能和可靠性。

機(jī)械加工：適用于機(jī)械零件的尺寸測量、形位公差檢測、表面粗糙度分析等，有助于提高機(jī)械加工的精度和產(chǎn)品質(zhì)量。

材料科學(xué)研究：在材料科學(xué)領(lǐng)域，可用于觀察和測量材料的微觀結(jié)構(gòu)、晶體形貌、相分布等，為材料的研發(fā)和性能優(yōu)化提供重要依據(jù)。

產(chǎn)品型號