日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀
- 公司名稱 成都藤田科技有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大塚
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/21 15:03:03
- 訪問(wèn)次數(shù) 16
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進(jìn)出口業(yè)務(wù),日本武藏點(diǎn)膠機(jī),日本豪雅檢測(cè)光源,??狄曈X(jué)成像,安泰信焊錫設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測(cè)儀-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(第4834847號(hào))
● 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測(cè)量系統(tǒng)
● 可嵌入至各種制造設(shè)備。
● 實(shí)時(shí)測(cè)量膜厚
● 可對(duì)應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測(cè)量
● 采用壽命長(zhǎng)、安全性高的白色LED光源
測(cè)量項(xiàng)目
多層膜厚解析
用 途
光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)
FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量
玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量
多點(diǎn)型
實(shí)時(shí)測(cè)量
流向品質(zhì)管理
真空室適用
導(dǎo)線型
實(shí)時(shí)測(cè)量
寬度方向品質(zhì)管理
測(cè)量案例
超硬涂層的膜厚解析
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測(cè)量
玻璃基板的面內(nèi)分布測(cè)量
多點(diǎn)型
實(shí)時(shí)測(cè)量
流向品質(zhì)管理
真空室適用
導(dǎo)線型
實(shí)時(shí)測(cè)量
寬度方向品質(zhì)管理
測(cè)量案例
超硬涂層的膜厚解析
核心特點(diǎn):
微區(qū)測(cè)量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動(dòng)XY平臺(tái)(200×200mm),實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì),支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制,獨(dú)立測(cè)量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(cè)(inline)與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。
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