PlasmaStar 200/200 RIE 等離子刻蝕機(jī)
- 公司名稱(chēng) 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) PlasmaStar 200/200 RIE
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/16 13:24:28
- 訪問(wèn)次數(shù) 5755
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
型號(hào)： 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 200/200RIE
產(chǎn)地： 美國(guó)
品牌： Axic
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技術(shù)規(guī)格：
型號(hào) | PlasmaStar 100 | PlasmaStar 100RIE | PlasmaStar 200 | PlasmaStar 200RIE |
艙體尺寸 | 直徑254×深度356mm | 直徑200×深度280mm | 寬305×高305×深406mm | 寬305 ×高200×深406mm |
艙體材質(zhì) | 標(biāo)配為陽(yáng)極氧化鋁艙體 | |||
常用氣體 | 空氣，氧氣，氫氣，氬氣，氮?dú)猓?/span>CF4，SF6等和其他混合氣體 | |||
氣路控制 | 標(biāo)配2路MFC，PlasmaStar 100多可選配4路， | 標(biāo)配2路MFC，PlasmaStar 200多可選配5路； | ||
控制系統(tǒng) | 電阻觸摸屏操作界面 | |||
程序控制 | PC觸屏控制，可編程序，無(wú)線存儲(chǔ)數(shù)據(jù) | |||
射頻頻率 | 13.56 MHz | |||
射頻功率 | 0~600W瓦之間距連續(xù)可調(diào)，自動(dòng)匹配 | 0~1000W瓦之間距連續(xù)可調(diào)，自動(dòng)匹配 | ||
電極設(shè)計(jì) | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極； | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極； 可選交替多層托盤(pán)電極； 可選RIE平面處理水冷平板電極 | ||
設(shè)備尺寸 | 寬800 x 深850 x 高525mm； | 寬1033 x 深850 x 高635mm； | ||
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