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電子探針顯微分析儀 EPMA使用聚焦加速的電子束作為激發(fā)源，照射到試樣上，可以從試樣中激發(fā)一系列不同類型的信號(hào)。使用不同的檢測(cè)器采集這些信號(hào)，即可以對(duì)試樣的形貌特征、元素種類及含量等進(jìn)行測(cè)試分析。

電子探針 EPMA 主要用于微區(qū)的元素分析，其采集分析的信號(hào)是特征X射線。各元素的原子受電子束的激發(fā)，使處于較低能級(jí)的內(nèi)殼層電子電離，整個(gè)原子呈不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，較高能級(jí)上的外層電子便會(huì)自發(fā)地躍遷到內(nèi)殼層空位，同時(shí)釋放出多余的能量，使原子回到基態(tài)，這部分能量可以以X射線光子的形式釋放出來(lái)。對(duì)于任一原子而言，各能級(jí)之間的能量差都是確定的，因此，各原子受激發(fā)而產(chǎn)生的X射線的能量或波長(zhǎng)也都是確定的。這種能量或波長(zhǎng)確定的X射線稱為特征 X射線。

除了特征X射線，還有一類會(huì)形成背景噪音信號(hào)的X射線，稱為連續(xù)X射線，其源于軔致輻射原理而產(chǎn)生。

軔致輻射(Bremsstrahlung Radiation)，又稱為剎車輻射或制動(dòng)輻射(BrakingRadiation)，是指高速運(yùn)動(dòng)的電子驟然減速所產(chǎn)生的輻射。電子探針EPMA的激發(fā)源入射電子在接近原子核時(shí)與原子核的庫(kù)侖場(chǎng)相互作用，電子的運(yùn)動(dòng)方向發(fā)生偏轉(zhuǎn)，并急劇減速，釋放的能量轉(zhuǎn)換為X射線光子從試樣中逃逸出去，就會(huì)產(chǎn)生這種輻射。軔致輻射產(chǎn)生的X射線譜一般都是連續(xù)的，形成能量分布從零到入射電子能量的非特征X射線光子，這是由于在原子核電磁場(chǎng)作用下，電子束的速度是連續(xù)變化的，所以又稱為連續(xù)輻射(Continuous Radiation)。連續(xù)X射線會(huì)在 EPMA測(cè)試過(guò)程中混雜于特征 X射線之中，形成背景噪音信號(hào)，對(duì) EPMA 的分析造成一定的影響。

• EPMA-1720Series電子探針

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