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當(dāng)今的高性能電子束工具對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感。磁場(chǎng)會(huì)移動(dòng)光束，從而導(dǎo)致分辨率和測(cè)量精度下降。SC22系統(tǒng)減少了周?chē)慕涣麟妶?chǎng)并恢復(fù)了分辨率和精度。

SC22消磁器系統(tǒng)包括磁場(chǎng)控制單元，交流磁場(chǎng)傳感器和三根正交多芯電纜，它們安裝在要消除磁場(chǎng)的房間中。SC22可以驅(qū)動(dòng)單回路和雙回路機(jī)房尺寸的電纜。它也適用于亥姆霍茲電纜，該電纜已連接到圓柱周?chē)目蚣苌??？刂茊卧械拿總€(gè)功率放大器都通過(guò)其電纜驅(qū)動(dòng)電流，以產(chǎn)生與環(huán)境場(chǎng)變化相反的場(chǎng)。磁場(chǎng)傳感器測(cè)量所得的磁場(chǎng)，實(shí)時(shí)負(fù)反饋通過(guò)系統(tǒng)的環(huán)路增益減小了環(huán)境磁場(chǎng)。該系統(tǒng)是動(dòng)態(tài)的，可在100 µs內(nèi)自動(dòng)響應(yīng)磁場(chǎng)變化。交流電源線場(chǎng)（50/60 Hz）減少了50倍。

消磁器的功能介紹：

通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境來(lái)保護(hù)您對(duì)電子束技術(shù)的投資

取消并監(jiān)視交流場(chǎng)

低成本，高性能系統(tǒng)

智能用戶(hù)界面

自動(dòng)設(shè)置

消除10 Hz至5 kHz的交流場(chǎng)

60Hz時(shí)場(chǎng)增強(qiáng)50倍

全3軸（X，Y，Z）系統(tǒng)

峰峰值范圍達(dá)60 mG（6.0 µT）

在100 µs內(nèi)適應(yīng)場(chǎng)變化

支持用于TEM和高梯度場(chǎng)的雙傳感器

USB監(jiān)控端口