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微波等離子體清洗器是目前*的等離子體清洗機，微波等離子體清洗器采用微波能量生產等離子體，在氧氣或氬氣以1-5torr的壓力流經樣品室時，微波能會有效地激發(fā)等離子體。
等離子體清洗機和微波清洗器產生的等離子體是電中性的高度電離的氣體，這種等離子流經污染表面與之發(fā)生反應，污染表面自好清洗而不影響材料的大部分特性。與其他等離子產生方法不同，這款微波等離子清洗器使用2.45GHz的微波能，具有可調的的功率占空比和模擬功率調節(jié)功能。功率可調范圍高達10-550瓦。使用該產品，可以獲得更高的氣壓，更高的功率和更高的溫度，當然，您將獲得以前從未實現的更高的反應速度。
微波等離子體清洗器特點
微波等離子清洗技術是一種革命性的清洗方法。
微波等離子清洗器本身價格不高，安全而易于使用，而且還節(jié)省空間。
這種等離子體清洗機,微波清洗器不產生垃圾，不排放有毒有害的溶解物或氣體，不需要獨立的操作空間。
是一種遠遠比化學清洗方法安全經濟環(huán)保的清洗方式。
我們提供三種規(guī)格的微波等離子體清洗器，這三款等離子體清洗機,微波清洗器的區(qū)別主要在于耐溫玻璃樣品室的容積大小。*種等離子體清洗機,微波清洗器的樣品室是直徑4.1’’x6’’長，第二種等離子體清洗器是8’’x6’’x2’’，第三種是9’’x7’’x3’’。具有長方形樣品室的清洗器都配有水冷系統(tǒng)可以控制溫度，這樣就可以清洗更多種類的器具而不必單位熱損傷。
微波等離子體清洗器可選配置：
1.水循環(huán)??；
2.雙氣真空流動控制器：可與微波等離子清洗器聯合使用的獨立的器件，它的作用是按不同比例混合兩種氣體。該控制器包括為真空泵和水循環(huán)浴提供的功率輸出，兩個流量（0-5SCFM）計，兩個壓力計(0-60帕)，一個真空壓力計（0-30’’Hg）和一個開關；
3.離子阱：該離子阱用于保護易損傷材料，如：激光二極管發(fā)光面，光刻膠等。該離子阱可以中和帶電離子，從而只允許中性輻射物參與清洗使得易傷材料免于清洗傷害。