PPG550 ATM 至中真空計

新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計 （PPG550） 基于**的 MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術可以構建一個非常小的傳感器，從而節(jié)省空間，這使得測量設備的整體高度非常小成為可能。

除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準地測量的優(yōu)勢。結合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計成為真正的真空寬量程計，將測量范圍擴展到遠遠超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術的另一個優(yōu)點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點是，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入，取代所謂的 MKS910“雙傳™微型皮拉尼 - 絕 對壓電真空壓力傳感器"以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空壓力傳感器"。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性。

8，合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，CSA，RoHS

PPG550 ATM 至中真空計