優(yōu)勢
1，雙測量儀（2 個傳感元件），測量范圍寬，降低成本，節(jié)省空間
2，用于 Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲
3，皮拉尼互鎖保護，避免燈絲過早燒毀
4，自動高真空皮拉尼調節(jié)，減少操作員干預
5，電隔離電子元件，避免雜散電流
6，滑動排放模式，避免切換排放流時出現壓力跳躍和凍結現象
7，可移動的校準數據芯片延長了烘烤時間
8，設定點繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402

13，符合 RoHS 規(guī)范

典型應用
半導體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制 超高真空范圍

測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar

準確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數的 ±15
            1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數的 ±30
重復性 讀數的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

BPG552 ATM至超高真空雙真空計