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Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。現(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監(jiān)控器。

INFICON Transpector CPM 一直是半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。現(xiàn)在，Transpector CPM 3 通過(guò)集成經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的泵送和進(jìn)口系統(tǒng)與新型傳感器和電子元件，達(dá)到業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現(xiàn)有半導(dǎo)體過(guò)程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過(guò)程監(jiān)控器。

Transpector CPM 3 通過(guò)以下特性為合作伙伴提供經(jīng)實(shí)踐證實(shí)的投資回報(bào)率：業(yè)內(nèi)*先的測(cè)量技術(shù)，穩(wěn)健的適應(yīng)性架構(gòu)，易于維護(hù)，出色的產(chǎn)品支持。

功能

ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)測(cè)和分析
ALD 就緒，測(cè)量速度為每點(diǎn) 1.8 ms（每秒 555 點(diǎn)）
在大多數(shù)苛刻 CVD 和蝕刻應(yīng)用中，展現(xiàn)出經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的耐久性和可靠性
應(yīng)用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件，由 INFICON 高級(jí)應(yīng)用專家提供支持，是一款強(qiáng)大的過(guò)程監(jiān)測(cè)與診斷工具
緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
Hexblock™ 含三個(gè)壓力進(jìn)口并減少表面積，以zui小化表面反應(yīng)時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間
電容隔膜計(jì) (CDG) — CDG 允許用戶監(jiān)測(cè)過(guò)程壓力，并自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)不出現(xiàn)壓力偏移
自動(dòng)校準(zhǔn) — 確保長(zhǎng)期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性和精度，以便進(jìn)行各傳感器和工具的腔室匹配

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