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除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準(zhǔn)地測量的優(yōu)勢。結(jié)合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計(jì)成為真正的真空寬量程計(jì)，將測量范圍擴(kuò)展到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時(shí)，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是增加了對(duì)加速力和振動(dòng)的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點(diǎn)是，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入，取代所謂的 MKS910“雙傳™微型皮拉尼 - 絕對(duì)壓電真空壓力傳感器"以及 MKS925“微型皮拉尼™™真空壓力傳感器"。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性。

PPG550 ATM 至中真空計(jì)

好處

1，氣體類型與 2 mbar 以上無關(guān) – 允許使用任何氣體混合物安全排氣

2，在大氣中具有高精度和可重復(fù)性 – 用于可靠、快速的大氣壓檢測

3，安裝方向的多功能 – 為工具設(shè)計(jì)提供工程自由度

4，可選模擬輸出信號(hào)，便于系統(tǒng)集成

5，數(shù)字接口 RS232/ RS485

6，合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE，EN，UL，CSA，RoHS

7，能夠直接替換MKS910“雙傳™微型皮拉尼™ - 絕對(duì)壓電真空壓力傳感器"以及MKS925“微型皮拉尼™真空壓力傳感器"。

DualTrans™ MicroPirani™ 是 MKS Instruments， Andover， MA 的注冊商標(biāo)

8，合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE，EN，UL，CSA，RoHS

典型應(yīng)用

1，用于分析設(shè)備/質(zhì)譜儀

2，物**相沉積

3，前線測量

4，氣體回填

PPG550 ATM 至中真空計(jì)

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