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OPG550 光學(xué)等離子真空計
INFICON AugentTM光學(xué)等離子體測量儀是一種緊湊的智能真空監(jiān)測解決方案。AugentTM 將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個緊湊的設(shè)備中,用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的氣體類型監(jiān)測,并同時測量 1 x 10-7mbar 到大氣壓的總壓力。AugentTM由集成的皮拉尼傳感器保護(hù),可關(guān)閉 20 mbar 以上的等離子體??焖俟鈱W(xué)測量原理原則上可以檢測任何類型的氣體。
好處
1,高速泄漏檢測允許腔室泄漏測試
2, 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量
3,使用壽命長,無燈絲**,氣涌保護(hù)
4,承受工藝化學(xué)反應(yīng)
5,智能算法,易于集成
6,設(shè)計緊湊,占地面積小
7,可靠且快速的啟動
典型應(yīng)用
1,腔室泄漏檢查,更快的RoR(上升速率)測試
2,泄漏檢查以查找供氣管線的內(nèi)部泄漏
3,實(shí)時終點(diǎn)控制
4,氣體類型和濃度控制
OPG550 光學(xué)等離子真空計
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