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邊緣™ CDG100D2 - 100°C - 內(nèi)部熱,外部小
INFICON Edge CDG100D2電容膜片式真空計是專為惡劣制造環(huán)境設計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有不可超越的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的非常特別傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。*的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調(diào)節(jié),另外還有 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選擇。創(chuàng) 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中*小的真空測量儀器。
好處
1,緊湊型,節(jié)省寶貴的工具空間
2,易于集成,各種滿刻度、法蘭,標配兩個設定點
3,輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移
4,診斷端口便于快速服務與維護
5,兩年保修服務,*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
6,超卓的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是嚴苛的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準
7,合規(guī)和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
1,CVD、蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程
Edge CDG100D2電容膜片式真空計
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