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邊緣™ CDG045D2 - 45°C - 內(nèi)部熱,外部小
INFICON Edge CDG045D2電容膜片式真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計的極其準(zhǔn)確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有不可超越的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的非常特別傳感器屏蔽,用于保護(hù)真空計,使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。*的電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可配置信號調(diào)節(jié),另外還有 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選擇。創(chuàng) 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中*小的真空測量儀器。
好處
1,緊湊型,節(jié)省寶貴的工具空間
2,易于集成,各種滿刻度、法蘭,標(biāo)配兩個設(shè)定點
3,輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移
4,診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
5,兩年保修服務(wù),*的加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
6,超卓的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是*嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
7,合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
1,CVD、蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
Edge CDG045D2電容膜片式真空計
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